[发明专利]光学套件及光学装置在审
| 申请号: | 202080023126.4 | 申请日: | 2020-01-14 |
| 公开(公告)号: | CN113615017A | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
| 发明(设计)人: | 道垣内龙男;河田阳一 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号: | H01S5/14 | 分类号: | H01S5/14 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;梁策 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光学 套件 装置 | ||
1.一种光学套件,其特征在于,
是用于构成包括输出激光的激光源的外部共振器的光学系统的光学套件,
具备:
基部,包括主面;以及
保持部,设置于所述主面并且用于保持所述光学系统,
所述光学系统包括:
透镜,在第1方向上输入有所述激光;
角隅反射镜,由将通过所述透镜的所述激光的衍射光沿与第1方向交叉的第2方向反射的反射型衍射光栅、以及将来自所述反射型衍射光栅的所述衍射光沿与所述第1方向相反的第3方向反射的反射镜构成;
第1开口构件,在没有所述角隅反射镜的情况下,以形成通过所述透镜的所述激光所通过的光学开口的方式配置;以及
第2开口构件以及第3开口构件,以形成来自所述角隅反射镜的所述衍射光依次通过的光学开口的方式,在所述第3方向上排列,
所述保持部具有:
透镜保持部,用于保持所述透镜;
反射镜保持部,用于保持所述角隅反射镜;
第1开口构件保持部,用于保持所述第1开口构件;
第2开口构件保持部,用于保持所述第2开口构件;以及
第3开口构件保持部,用于保持所述第3开口构件,
所述反射镜保持部包括:
第1机构,将所述角隅反射镜的整体保持为可沿着所述主面旋转;
第2机构,在所述反射型衍射光栅以及所述反射镜的各个,可调整所述衍射光的光轴。
2.根据权利要求1所述的光学套件,其特征在于,
所述第2机构,通过将所述反射型衍射光栅以及所述反射镜的各个保持为可相互独立地绕沿着所述主面的旋转轴旋转,可调整所述衍射光的光轴。
3.根据权利要求1或者2所述的光学套件,其特征在于,
所述反射镜保持部还包括:第3机构,以所述反射型衍射光栅不沿着所述主面旋转的方式保持所述反射型衍射光栅,并且以所述反射镜独立地沿着所述主面旋转的方式保持所述反射镜。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的光学套件,其特征在于,
所述反射镜保持部还包括:第4机构,将所述角隅反射镜保持为可沿着所述第2方向移动。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的光学套件,其特征在于,
还包括:光源保持部,用于保持所述激光源。
6.一种光学装置,其特征在于,
具备:
权利要求1~5中任一项所述的光学套件;
被所述透镜保持部保持的所述透镜;
被所述反射镜保持部保持的所述角隅反射镜;
被所述第1开口构件保持部保持的所述第1开口构件;
被所述第2开口构件保持部保持的所述第2开口构件;以及
被所述第3开口构件保持部保持的所述第3开口构件。
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