[实用新型]一种COS的激光发散角测试设备

说明书

本实用新型公开了一种COS的激光发散角测试设备，所述测试设备包括基座、COS三维调节架、COS装夹夹具、光电探测器支架和转台，COS三维调节架、光电探测器支架设置在基座上，COS装夹夹具设置在COS三维调节架上，COS装夹夹具上的COS和所述光电探测器支架上的光电探测器在同一中心高度，转台设置在COS装夹夹具和/或光电探测器支架的底部或者顶部，用于实现COS和光电探测器相对转动，在转动过程中利用所述光电探测器测量并记录不同转动角度时的激光能量值，并且根据所述激光能量值计算确定出所述激光的发散角。上述设备操作方便，设备制造成本和人力成本低，可以实现大电流和脉冲电流的测试。

技术领域

本实用新型属于激光测试技术领域，特别涉及一种COS的激光发散角测试设备。

背景技术

半导体激光器的COS(Chip On Submount,芯片在基板上)是产生激光的核心部件，激光光束发散角是评价COS的一项重要参数，用来衡量光束从束腰向外发散的速度。精确测试COS发散角常用的方法需要分别对光束快慢轴进行整形后，根据不同位置在CCD相机上的光斑尺寸，通过MATLAB进行拟合，计算光束参数积(光束直径*光束发散角)，结合芯片的发光区宽度计算发散角。

CN108287060A中就公开了一种激光发散角的测量装置，参见图1所示，该设备经过分别测试CCD相机距离发光光源不同位置(L＝0，1……25mm)时的光斑尺寸，用Matlab拟合数据，计算BPP，推算出发散角。然而使用上述设备测试时不仅耗时长，还需要消耗光学镜片等物料，费时费力且成本高，整体效益差。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型公开了一种COS的激光发散角测试设备，以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种COS的激光发散角测试设备，所述测试设备包括基座、COS三维调节架、COS装夹夹具、光电探测器支架和转台，所述COS三维调节架、所述光电探测器支架设置在所述基座上，所述COS装夹夹具设置在所述COS三维调节架上，所述COS装夹夹具上的COS和所述光电探测器支架上的光电探测器在同一中心高度，所述转台设置在所述COS装夹夹具和/或所述光电探测器支架的底部或者顶部，用于实现所述COS和所述光电探测器相对转动，在转动过程中利用所述光电探测器测量并记录不同转动角度时的激光能量值，并且根据所述激光能量值计算确定出所述激光的发散角。

可选的，所述转台为一个，设置在所述COS装夹夹具底部；所述光电探测器支架和所述光电探测器为一个，所述COS装夹夹具上还设置有翻转机构，用于将所述COS进行90度翻转。

可选的，所述转台为两个，分别为慢轴测试转台和快轴测试转台，所述慢轴测试转台固定在所述基座上，所述慢轴测试转台的转轴上固定连接有慢轴光电探测器支架，所述慢轴光电探测器支架包括机械臂和竖直支架，所述机械臂在所述转轴的驱动下旋转，所述竖直支架可滑动地设置在所述机械臂上，所述竖直支架上设置有所述慢轴光电探测器。

可选的，所述快轴测试转台设置在快轴固定支架的顶部上，而所述快轴固定支架设置在所述基座上，所述快轴测试转台的转轴上设置有快轴光电探测器支架，所述快轴光电探测器支架上设置有快轴光电探测器。

可选的，所述COS装夹夹具采用真空泵压接结构、真空吸附定位结构或电极压接结构。

可选的，所述电极压接结构的COS装夹夹具包括夹具支架、夹具底座、COS固定槽、加电电极、弹簧压柱、弹簧、压接部和位置锁止部；所述夹具支架固定连接在所述三维调节架上，所述夹具支架上设置有所述夹具底座，所述夹具底座顶部设置COS固定槽，所述COS定位在所述COS固定槽内；所述加电电极设置在所述COS上部，并由所述弹簧压柱、弹簧和压接部下压后抵接在所述COS的接电部上，所述夹具支架的上部上还设置有位置锁止部，用于在下压动作时固定所述弹簧压柱，使得所述加电电极和接电部保持抵接。