[实用新型]高精度成像镜头三段式连接结构

说明书

本实用新型公开了高精度成像镜头三段式连接结构，其包括高精度成像镜头，该高精度成像镜头具有1倍镜头组件、列阵微微透镜组件以及2.5倍镜头组件，所述高精度成像镜头采用三段式结构，三段式结构包括位于所述高精度成像镜头顶部的1倍镜头组件、位于所述高精度成像镜头底部的2.5倍镜头组件以及设置于所述2.5倍镜头组件与1倍镜头组件之间的列阵微透镜组件；所述1倍镜头组件可拆卸地连接于列阵微透镜组件的固定座顶部；所述2.5倍镜头组件可拆卸地连接于列阵微透镜组件的固定座底部。本实用新型便于安装和后期维护。

技术领域

本实用新型涉及光学镜头的安装调整技术领域，尤其是涉及一种高精度成像镜头三段式连接结构。

背景技术

按现有镜头的通常技术是将每片镜片及列阵微透镜安装于镜筒内，然后进行调整。

根据光学设计的要求，高精度成像镜头每片镜片的中心轴线偏差需2’按现有技术将近20片镜片及列阵微透镜安装于镜筒内，其每片镜片的中心轴线偏差将达8’-10’，传统的加工方式不利于组装。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高精度成像镜头三段式连接结构，其便于相互之间的组装连接。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了高精度成像镜头三段式连接结构，其包括高精度成像镜头，该高精度成像镜头具有1倍镜头组件、列阵微微透镜组件以及2.5倍镜头组件，所述高精度成像镜头采用三段式结构，三段式结构包括位于所述高精度成像镜头顶部的1倍镜头组件、位于所述高精度成像镜头底部的2.5倍镜头组件以及设置于所述2.5倍镜头组件与1倍镜头组件之间的列阵微透镜组件；

所述1倍镜头组件可拆卸地连接于列阵微透镜组件的固定座顶部；

所述2.5倍镜头组件可拆卸地连接于列阵微透镜组件的固定座底部。

进一步，所述1倍镜头组件的外壳底部设置有第一法兰盘，所述列阵微透镜组件的固定座顶部设置有与第一法兰盘对应的螺栓孔，所述第一法兰盘与列阵微透镜组件的固定座顶部所设螺栓孔中安装有固定螺栓。

进一步，所述列阵微透镜组件的固定座底部设置有圆形内凹槽，所述圆形内凹槽中设置有用于固定2.5倍镜头组件的螺钉孔。

进一步，所述高精度成像镜头通过列阵微透镜组件固定座所设凸耳固定于安装板上。

进一步，所述凸耳设置有长条状固定孔。

本实用新型具有如下有益效果：

1、通过三段式连接机构方便高精度成像镜头的分段组装完成工作以及后期的对接装配工作。

2、高精度成像镜头项目是全自动激光直接成像曝光机的关键部件，通常该类曝光机的投影线宽精度在0.05mm，为了提高曝光精度，采用激光照射至数字微反射镜模块(DMD)反射至1倍高精度成像于列阵微透镜；再从列阵微透镜照射至2.5倍高精度成像，来进行曝光成像，这可使曝光机的投影线宽精度在0.05mm的基础上提高2-3倍。这样组成的高精度成像镜头组，其各组成部分的光学中心轴线同心度要求极高，而且在设计时，为了确保近20片光学镜片及列阵微透镜的绝对同心，将镜头组设计成三组式结构，然后再整体连接组装，可以有效提高安装精度。

附图说明

图1为高精度成像镜头三段式连接结构示意图。

图2为列阵微透镜组件的固定座示意图，其中，(a)为列阵微透镜组件的固定座底部示意图；(b)为列阵微透镜组件的固定座顶部示意图。

图3为1倍镜头组件示意图。

图4为列阵微微透镜组件示意图。

图5为2.5倍镜头组件示意图。

具体实施方式