[实用新型]一种半导体加工用的自动喷淋治具清洗机

权利要求书

1.一种半导体加工用的自动喷淋治具清洗机，其特征在于：包括机体(1)，所述机体(1)底部四周壁体上分别设有底座(2)，所述机体(1)前端壁体中设有维护门(3)，所述机体(1)顶部前端壁体上设有顶盖(5)，所述顶盖(5)与机体(1)一侧壁体之间设有液压杆(6)，所述顶盖(5)前端两侧与维护门(3)前端两侧壁体之间分别设有搭扣(4)，所述顶盖(5)前端上方壁体中还设有检查视窗(7)，所述顶盖(5)前端壁体上还设有把手(8)，所述机体(1)一侧壁体上设有控制箱(9)，所述控制箱(9)一侧后端壁体中设有若干个连接管(10)，所述控制箱(9)顶部前端壁体上设有控制台(11)，所述控制箱(9)顶部还设有防护机构(12)，所述防护机构(12)包括固定导轨(13)与防护罩(14)，所述控制箱(9)顶部后端壁体上还设有警示灯(15)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用的自动喷淋治具清洗机，其特征在于：两个所述固定导轨(13)分别固定安装在控制箱(9)顶部前端一侧壁体上，所述固定导轨(13)内还开设有滑槽(16)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体加工用的自动喷淋治具清洗机，其特征在于：所述固定导轨(13)横向部分的滑槽(16)内顶部与底部壁体中还分别开设有限位槽(17)，所述限位槽(17)内还设有顶块(19)，所述顶块(19)顶部与底部壁体上分别固定安装有卡块(20)，并且所述顶块(19)通过两个卡块(20)穿插安装在滑槽(16)内对应的限位槽(17)中。

4.根据权利要求3所述的一种半导体加工用的自动喷淋治具清洗机，其特征在于：所述滑槽(16)内一侧壁体上还固定安装有固定杆(18)，所述固定杆(18)一侧延伸至滑槽(16)内一侧，并且所述固定杆(18)一侧壁体穿插安装在顶块(19)壁体内的通孔中，所述固定杆(18)上还套装有压缩弹簧(21)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体加工用的自动喷淋治具清洗机，其特征在于：所述固定导轨(13)在横向壁体内的滑槽(16)内顶部与底部壁体上分别固定安装有橡胶条(22)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体加工用的自动喷淋治具清洗机，其特征在于：所述防护罩(14)底部壁体上固定安装有橡胶框(23)，所述橡胶框(23)前端与后端两侧壁体上分别固定安装有固定轴(24)，所述固定轴(24)壁体中开设有开槽(25)，并且所述橡胶框(23)通过外壁上的固定轴(24)穿插安装在对应的固定导轨(13)内的滑槽(16)中。