[实用新型]PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件有效
| 申请号: | 202023219173.2 | 申请日: | 2020-12-28 |
| 公开(公告)号: | CN214087290U | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
| 发明(设计)人: | 赵浩;金卫明;何新玉;朱传兵;强军 | 申请(专利权)人: | 芜湖芯通半导体材料有限公司 |
| 主分类号: | B66C1/10 | 分类号: | B66C1/10;B66C13/04 |
| 代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 张巧婵 |
| 地址: | 241000 安徽省芜湖市长江大桥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | picp 刻下 漏检 备用 起吊 部件 | ||
1.一种PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件,其特征在于:所述的PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件包括起吊部件上组件(1)和起吊部件下组件(2),起吊部件上组件(1)包括带通孔(3)的上吊具(4),起吊部件下组件(2)包括设置在设备框架上的固定座(6),固定座(6)上设置垂直布置的杆件(7),杆件(7)的直径尺寸设置为小于上吊具(4)的通孔(3)的直径尺寸的结构。
2.根据权利要求1所述的PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件,其特征在于:所述的起吊部件上组件(1)的上吊具(4)包括多个,多个上吊具(4)沿PICP下电(8)侧面一周按间隙布置。
3.根据权利要求1或2所述的PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件,其特征在于:所述的起吊部件下组件(2)设置为与起吊部件上组件(1)的上吊具(4)的数量和位置一一对应的结构,每个起吊部件下组件(2)的杆件(7)对准一个上吊具(4)的通孔(3)。
4.根据权利要求1或2所述的PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件,其特征在于:所述的起吊部件上组件(1)的上吊具(4)和起吊部件下组件(2)的固定座(6)上的杆件(7)为垂直布置的结构。
5.根据权利要求1或2所述的PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件,其特征在于:所述的设备框架上设置框架横梁(5),固定座(6)设置在框架横梁(5)上,框架横梁(5)为水平布置结构。
6.根据权利要求1或2所述的PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件,其特征在于:所述的起吊部件上组件(1)的上吊具(4)两侧分别设置延伸部(9),上吊具(4)设置为呈T字形结构。
7.根据权利要求6所述的PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件,其特征在于:所述的PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件的固定螺栓(10)穿过延伸部(9)将上吊具(4)与PICP下电(8)固定连接。
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