[实用新型]一种光刻机晶圆放置板更换机构及光刻机

说明书

本实用新型涉及光刻机技术领域，更具体地说，它涉及一种光刻机晶圆放置板更换机构及应用该更换机构的光刻机，其中，更换机构包括机台、推板和驱动机构；机台上设有用于容纳晶圆放置板的容纳槽，容纳槽的底面中部设有过孔；推板上设有推动部，晶圆放置板上设有连接块，连接块可相对晶圆放置板拆卸；其中，驱动机构用于驱动推板运动，推板用于受驱动通过推动部经由过孔推动连接块，以带动晶圆放置板伸出或缩入容纳槽。根据本实用新型的技术方案，启动驱动机构即可将晶圆放置板从容纳槽内推出，方便对晶圆放置板进行更换；另外，由于晶圆放置板背面上的受推部即连接块可拆卸，从而连接块磨损后可及时拆下进行更换。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种光刻机晶圆放置板更换机构及应用该更换机构的光刻机。

背景技术

光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序，它是将一系列掩模板上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的工艺过程，被认为是大规模集成电路制造中的核心步骤。半导体制造中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成。

现有的光刻机包括机台和设置在机台上的容纳槽，该容纳槽用于容纳晶圆放置板，容纳槽的外形形状与晶圆放置板的形状一致，晶圆用于放置在该晶圆放置板上进行加工。

其中，晶圆放置板在使用过程中需要经常进行更换，然而，由于容纳槽的形状与晶圆放置板的形状一致，使得晶圆放置板在放入容纳槽内后很难被取出，故急需针对这种情况进行解决。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种光刻机晶圆放置板更换机构及应用该更换机构的光刻机，主要所要解决的技术问题是：如何方便取出容纳槽内的晶圆放置板，以对晶圆放置板进行更换。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

一方面，本实用新型的实施例提供一种光刻机晶圆放置板更换机构，包括机台、推板和驱动机构；所述机台上设有用于容纳晶圆放置板的容纳槽，所述容纳槽的底面中部设有过孔，所述容纳槽的底面上还凸设有沿周向延伸的第一密封圈和第二密封圈；所述第一密封圈位于第二密封圈的内侧，且两者之间形成环形槽，所述环形槽内设有吸气孔；

所述推板上设有推动部，所述晶圆放置板上设有连接块，所述连接块可相对所述晶圆放置板拆卸；其中，所述驱动机构用于驱动所述推板运动，所述推板用于受驱动通过所述推动部经由所述过孔推动所述连接块，以带动所述晶圆放置板伸出或缩入所述容纳槽。

可选的，所述连接块通过螺丝与所述晶圆放置板可拆卸连接。

可选的，所述晶圆放置板的背离晶圆放置面的一侧设有用于容纳所述连接块的安装槽，所述安装槽的底面上设有供所述螺丝拧入的螺丝孔。

可选的，所述连接块上设有供螺丝穿过的螺丝过孔，所述过孔的背离所述安装槽底面的一侧具有沉头槽。

可选的，所述推动部包括顶杆，以通过顶杆推动所述连接块。

可选的，所述顶杆的数量为两个以上，且沿所述推板的周向均匀分布；其中，连接块的数量与顶杆的数量相等、且一一对应。

可选的，所述连接块上设有供顶杆插入的定位槽。

可选的，所述定位槽呈半球形，所述顶杆的顶端呈与所述定位槽的形状相一致的半球形。

可选的，所述驱动机构包括驱动缸，以通过所述驱动缸驱动所述推板运动。

另一方面，本实用新型的实施例还提供一种光刻机，其可以包括上述任一种所述的光刻机晶圆放置板更换机构。

借由上述技术方案，本实用新型光刻机晶圆放置板更换机构及应用该更换机构的光刻机至少具有以下有益效果：

1、启动驱动机构即可将晶圆放置板从容纳槽内推出，方便对晶圆放置板进行更换；