[实用新型]一种薄膜氢气传感器

权利要求书

1.一种薄膜氢气传感器，其特征在于：包括基底，基底模面上设有对氢气敏感的测氢薄膜电阻、对温度敏感的测温薄膜电阻以及加热薄膜电阻；测温薄膜电阻和加热薄膜电阻为具有同一圆心的圆环形结构，测温薄膜电阻上设有一个断开的第一缺口形成第一测温终端和第二测温终端，加热薄膜电阻上设有一个断开的第二缺口形成第一加热终端和第二加热终端，测氢薄膜电阻设置测温薄膜电阻和加热薄膜电阻当中测氢薄膜电阻为并线双螺旋结构。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜氢气传感器，其特征在于：加热薄膜电阻的直径小于测温薄膜电阻的直径，第二缺口和第一缺口邻近并内外对应布置。

3.根据权利要求2所述的一种薄膜氢气传感器，其特征在于：并线双螺旋结构的圆心和圆环形结构的圆心重合，并线双螺旋结构由两组等半径差且围绕圆心半径渐变的曲线环绕多圈形成，并线双螺旋结构在邻近底模模面近圆心的端点处进行短接，并线双螺旋结构远离圆心的第一测氢终端和第二测氢终端均邻近第二缺口。

4.根据权利要求3所述的一种薄膜氢气传感器，其特征在于：基底材质为用硅，测氢薄膜电阻材质为钯-镍合金，测温薄膜电阻材质为铂，加热薄膜电阻采用物理化学性质稳定的金属材料镍铬。