[实用新型]膜厚测量装置

权利要求书

1.一种膜厚测量装置，其特征在于，包括检测核心结构以及控制系统；

所述检测核心结构包括：罩体、光源和相机，罩体具有第一容纳腔，所述第一容纳腔内具有用于容置所述膜的容置部；

光源设置于第一容纳腔内，所述光源用于产生能够照射于所述容置部的光，所述相机具有能够转动的镜头，所述镜头位于来自所述膜的反射光的光路上以接收所述反射光并获得对应的二维图像；

控制系统用于根据数学模型计算并获得构成所述二维图像的像素对应的厚度值以及所述膜厚，其中所述数学模型包括：所述像素的灰度值与所述厚度值的函数关系；或，构成所述像素的RGB、HSV和LAB参数与所述厚度值的函数关系。

2.根据权利要求1所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述光源的发光面朝向所述容置部；

可选地，所述光源为面板光源，所述面板光源具有与所述镜头配合的安装孔。

3.根据权利要求1所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述检测核心结构包括匀光板，所述匀光板设置于所述罩体内并将所述第一容纳腔隔为第一腔体以及第二腔体，所述第一腔体位于所述第二腔体的上方，所述容置部、所述镜头分别位于所述第二腔体；

所述光源位于第一腔体内且所述光源的发光面朝向远离第二腔体的一侧，以使所述光源发射的光线以漫反射的方式照射于所述容置部。

4.根据权利要求3所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述光源围设于所述镜头的周向。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述光源为LED光源。

6.根据权利要求1-4任意一项所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述光源发出的光为单色光或白光，且所述光的波长为300-1000nm。

7.根据权利要求1-4任意一项所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述镜头与所述容置部之间的距离可调。

8.根据权利要求1-4任意一项所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述相机为单色相机或彩色相机。

9.根据权利要求1-4任意一项所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述膜厚测量装置包括托盘，所述容置部设置于所述托盘的正面，所述托盘与所述罩体滑动配合以使所述容置部置于或离开所述第一容纳腔内。

10.根据权利要求9所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述罩体具有容纳槽，所述容纳槽的开口位于所述罩体的底端；

所述膜厚测量装置包括底座，所述罩体与底座连接且之间形成安装间隙，所述底座设有位于安装间隙内的导轨，所述托盘滑动设置于所述导轨，以使所述托盘能够沿所述导轨移动并选择性封闭所述容纳槽的开口以形成第一容纳腔。