[实用新型]一种离心清洗花篮

权利要求书

1.一种离心清洗花篮，用于批量清洗硅片，其特征在于：包括框底，所述框底上垂直固定有多个沿所述框底的中心周向分布的定位装置，所述定位装置包括内定位组件和外定位组件，所述内定位组件和所述外定位组件均沿所述框底的中心周向分布且间隔设置，用于将硅片沿环形定位在所述内定位组件和所述外定位组件之间。

2.根据权利要求1所述的离心清洗花篮，其特征在于，所述内定位组件包括内定位槽，所述外定位组件包括与所述内定位槽相对的外定位槽，所述内定位槽和所述外定位槽分别用以与硅片竖直方向的不同侧边形成卡接。

3.根据权利要求2所述的离心清洗花篮，其特征在于，所述内定位组件包括内圆弧墙和内凸起，所述内凸起与所述内圆弧墙的外凸面固定连接形成所述内定位槽；

所述外定位组件包括外圆弧墙和外凸起，所述外圆弧墙和所述内圆弧墙同心设置，且所述外圆弧墙的半径大于所述内圆弧墙的半径，所述外凸起与所述外圆弧墙的内凹面固定连接形成所述外定位槽，所述内凸起和所述外凸起分别用以与硅片相对的侧面抵接。

4.根据权利要求3所述的离心清洗花篮，其特征在于，所述内凸起和外凸起分别为垂直于框底的内定位杆和外定位杆，所述内定位杆与所述内圆弧墙的外凸面连接，所述外定位杆与所述外圆弧墙的内凹面连接。

5.根据权利要求3所述的离心清洗花篮，其特征在于，所述内定位槽的槽底和所述外定位槽的槽底的连线，与所述内定位槽对应内圆弧墙的半径方向的夹角范围为30-60°。

6.根据权利要求4所述的离心清洗花篮，其特征在于，所述内圆弧墙和所述外圆弧墙均为弧形网板，所述弧形网板的底边与所述框底固定连接。

7.根据权利要求4所述的离心清洗花篮，其特征在于，所述内凸起和所述外凸起在平行于所述框底方向上的截面为圆形。

8.根据权利要求4所述的离心清洗花篮，其特征在于，所有所述内定位组件的所述内圆弧墙连续且一体设置形成内圆圈，所有所述外定位组件的所述外圆弧墙连续且一体设置形成外圆圈。

9.根据权利要求1-8任一项所述的离心清洗花篮，其特征在于，相邻两个所述定位装置之间设有支撑杆，所述支撑杆的一端与任一所述定位装置的内定位组件连接，所述支撑杆另一端与相邻的所述定位装置的外定位组件连接。

10.根据权利要求1-8中任一项所述的离心清洗花篮，其特征在于，多个所述定位装置沿所述框底的中心周向均匀分布。