[实用新型]一种卡塞包装一体化装置

说明书

本实用新型公开了一种卡塞包装一体化装置，包括：机械手，机械手上设置有第一光感定位装置；卡塞内放置有晶圆，卡塞的顶端设置有第二光感定位装置，卡塞的底端设置有第三光感定位装置；盒底盖，盒底盖上设置有第四光感定位装置，当第一光感定位装置与第二光感定位装置定位后，机械手抓取卡塞，使得第三光感定位装置与第四光感定位装置定位后，将卡塞放置在盒底盖上；倾斜平台，倾斜平台上设置有固定位，机械手将放置有卡塞的盒底盖放置在固定位上，倾斜平台上设置有第五光感定位装置；盒顶盖，盒顶盖上设置有第六光感定位装置，机械手抓取盒顶盖，使得第五光感定位装置与第六光感定位装置定位后，将盒顶盖盖合完成卡塞包装，实现自动卡塞包装。

技术领域

本实用新型涉及晶圆封装装置技术领域，尤其涉及一种卡塞包装一体化装置。

背景技术

晶圆产品经过加工、清洗、测试，满足工业投入应用的要求。晶圆制造商需要将晶圆进行洁净封装，但手动封装过程中会造成晶圆污染、划伤等不良缺陷，降低晶圆品质。

并且，在晶圆包装领域，成熟的卡塞包装一体化设备欠缺，这部分人为操作会增加晶圆被污染的风险，同时人为的不稳定性会造成晶圆划伤等风险。

因此，如何提供一种卡塞包装一体化装置，以实现自动卡塞包装，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种卡塞包装一体化装置，以实现自动卡塞包装。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种卡塞包装一体化装置，包括：

机械手，所述机械手上设置有第一光感定位装置；

卡塞，所述卡塞内放置有晶圆，所述卡塞的顶端设置有第二光感定位装置，所述卡塞的底端设置有第三光感定位装置；

盒底盖，所述盒底盖上设置有第四光感定位装置，当所述第一光感定位装置与所述第二光感定位装置定位后，所述机械手抓取所述卡塞，使得所述第三光感定位装置与所述第四光感定位装置定位后，将所述卡塞放置在所述盒底盖上；

倾斜平台，所述倾斜平台上设置有固定位，所述机械手将放置有所述卡塞的所述盒底盖放置在所述固定位上，所述倾斜平台上设置有第五光感定位装置；

盒顶盖，所述盒顶盖上设置有第六光感定位装置，所述机械手抓取所述盒顶盖，使得所述第五光感定位装置与所述第六光感定位装置定位后，将所述盒顶盖盖合完成卡塞包装。

优选的，上述的卡塞包装一体化装置，还包括：

激光发射装置，所述激光发射装置朝向位于所述倾斜平台上的所述卡塞中的所述晶圆发射激光；

信号接收装置，所述信号接收装置接收从所述晶圆中反射回来的激光并生成数据；

信号处理装置和显示屏，所述信号处理装置接收从所述信号接收装置传输过来的数据并处理后生成图像传递到所述显示屏上。

优选的，上述信号处理装置和显示屏为电脑。

优选的，上述第一光感定位装置、所述第二光感定位装置、所述第三光感定位装置、所述第四光感定位装置、所述第五光感定位装置和所述第六光感定位装置均为红外定位装置。

优选的，上述第五光感定位装置为红外传感接收器，所述第六光感定位装置为红外发射装置。

优选的，上述倾斜平台的倾斜角度为5°或者10°或者15°。

优选的，上述的卡塞包装一体化装置还包括无尘罩壳，

所述机械手、所述盒底盖、所述盒顶盖和所述倾斜平台均内置于所述无尘罩壳中，

所述卡塞放置在所述无尘罩壳的入料口，