[实用新型]一种高精度多维度位移调节装置

权利要求书

1.一种高精度多维度位移调节装置，其特征在于，包括从上向下依次设置的顶升油缸(1)、横向平移油缸(2)和纵向平移油缸(3)，所述顶升油缸(1)的缸体固定连接在所述横向平移油缸(2)的活塞杆上，所述横向平移油缸(2)的缸体固定连接在所述纵向平移油缸(3)的活塞杆上，所述顶升油缸(1)的活塞杆上连接有用于承载设备的顶板(9)，所述顶升油缸(1)、横向平移油缸(2)和纵向平移油缸(3)的活塞杆的伸缩方向不同。

2.根据权利要求1所述的高精度多维度位移调节装置，其特征在于，所述装置包括机架结构(4)，所述纵向平移油缸(3)的缸体固定连接在所述机架结构(4)上。

3.根据权利要求1所述的高精度多维度位移调节装置，其特征在于，所述横向平移油缸(2)和纵向平移油缸(3)均为双出杆油缸，所述纵向平移油缸(3)两端的活塞杆上均分别设有一个横向平移油缸(2)。

4.根据权利要求3所述的高精度多维度位移调节装置，其特征在于，所述纵向平移油缸(3)与所述横向平移油缸(2)垂直设置，所述两个横向平移油缸(2)平行设置。

5.根据权利要求4所述的高精度多维度位移调节装置，其特征在于，所述纵向平移油缸(3)有两个且平行设置，所述横向平移油缸(2)的缸体与所述纵向平移油缸(3)的同侧两个活塞杆均固定连接。

6.根据权利要求3所述的高精度多维度位移调节装置，其特征在于，所述横向平移油缸(2)的两侧活塞杆上均固定安装有夹持板(8)，所述两个夹持板(8)平行且用于夹持住所述顶升油缸(1)的缸体。

7.根据权利要求6所述的高精度多维度位移调节装置，其特征在于，所述顶升油缸(1)的活塞杆与所述横向平移油缸(2)的活塞杆的伸缩方向互相垂直。

8.根据权利要求1所述的高精度多维度位移调节装置，其特征在于，所述装置还包括液压和电气组件，所述顶升油缸(1)、横向平移油缸(2)和纵向平移油缸(3)上均设有液压管路及电气线路接口，所述液压管路及电气线路接口包括纵向平移油缸液压管路及电气线路接口(5)、横向平移油缸液压管路及电气线路接口(6)和顶升油缸液压管路及电气线路接口(7)。

9.根据权利要求8所述的高精度多维度位移调节装置，其特征在于，所述顶升油缸(1)包括顶升油缸缸体(12)、顶升油缸活塞杆(11)以及设置在顶升油缸缸体(12)底端的缸底封头(13)，所述顶升油缸活塞杆(11)的一端伸入顶升油缸缸体(12)内且另一端与所述顶板(9)固定连接，所述顶升油缸活塞杆(11)与所述顶升油缸缸体(12)的连接处设有密封件(10)，所述缸底封头(13)的底面设有用于安装所述顶升油缸液压管路及电气线路接口(7)的凹槽。

10.根据权利要求1所述的高精度多维度位移调节装置，其特征在于，所述顶板(9)上配置有位移传感器、倾角传感器和压力传感器。