[实用新型]一种芯片的封装结构有效
| 申请号: | 202022734545.9 | 申请日: | 2020-11-24 |
| 公开(公告)号: | CN213124421U | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
| 发明(设计)人: | 徐虹;陈栋;金豆;徐霞;陈锦辉;郑芳 | 申请(专利权)人: | 江阴长电先进封装有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/488;H01L23/544 |
| 代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 赵华 |
| 地址: | 214433 江苏省无锡市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 封装 结构 | ||
本实用新型公开了一种芯片的封装结构,属于半导体封装技术领域。其第一塑封体的芯片单元本体(10)上设置有芯片电极(113)、钝化层Ⅰ(210)、绝缘层Ⅰ(310),其原始对位标记(120)处设置对位标记保护块(150),所述绝缘层Ⅰ开口Ⅰ(311)内设置金属连接件Ⅰ,塑封料Ⅰ(510)将对位标记保护块(150)、金属连接件Ⅰ进行塑封,所述塑封料Ⅱ(610)包覆第一塑封体形成第二塑封体,所述再布线金属层(710)参考对位标记保护块(150)设置于第二塑封体上方,所述再布线金属层(710)上方设置钝化层Ⅱ(810)和金属连接件Ⅱ(900)。本实用新型能够有效地保护芯片正面,提高了产品的可靠性。
技术领域
本实用新型涉及一种芯片的封装结构,属于半导体芯片封装技术领域。
背景技术
目前常见的扇出型封装产品,如图1所示,其包括具有有源表面的芯片单元本体100,所述芯片单元本体100的有源表面设置有芯片电极101,所述芯片单元本体100的有源表面和芯片电极101的上表面设置有保护层200,所述保护层200在芯片电极101上方开设保护层开口,所述保护层开口内设置金属凸块300,所述金属凸块300通过保护层开口与芯片电极101连接;所述芯片单元本体100的背面设置背面保护层600。目前芯片封装产品的正面的保护较弱,当芯片正面受力较大时容易发生芯片功能失效问题。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有封装技术不足,提供一种芯片正面受到保护的芯片封装结构。
本实用新型的目的是这样实现的:
本实用新型提供了一种芯片的封装结构,其包括第一塑封体、塑封料Ⅱ、再布线金属层、钝化层Ⅱ和金属连接件Ⅱ,
所述第一塑封体包括具有有源表面的芯片单元本体、原始对位标记和塑封料Ⅰ,所述芯片单元本体的有源表面设置有芯片电极,所述芯片单元本体的有源表面和芯片电极的上表面设置有钝化层Ⅰ和钝化层Ⅰ开口,所述钝化层Ⅰ开口内设置绝缘层Ⅰ和绝缘层Ⅰ开口Ⅰ、绝缘层Ⅰ开口Ⅱ,所述绝缘层Ⅰ开口Ⅰ露出芯片电极的上表面,所述绝缘层Ⅰ开口Ⅰ内设置金属连接件Ⅰ,所述金属连接件Ⅰ通过绝缘层Ⅰ开口Ⅰ与芯片电极连接,所述绝缘层Ⅰ开口Ⅱ露出原始对位标记,所述原始对位标记处通过绝缘层Ⅰ开口Ⅱ设置对位标记保护块,所述塑封料Ⅰ将金属连接件Ⅰ、对位标记保护块进行塑封,其上表面与金属连接件Ⅰ的上表面齐平;
所述塑封料Ⅱ包覆第一塑封体的四周和背面,形成第二塑封体,其上表面与第一塑封体的上表面齐平;
所述再布线金属层参考对位标记保护块设置于第二塑封体上方,所述再布线金属层包括若干层金属层和绝缘填充层,上下相邻的金属层之间选择性连接,绝缘填充层设置于金属层之间,所述再布线金属层的最下起始层设置下层焊盘、最上终止层设置上层焊盘,所述下层焊盘和上层焊盘均露出绝缘填充层,其中所述下层焊盘与第一塑封体的金属连接件Ⅰ的上表面连接;
所述再布线金属层上方设置钝化层Ⅱ和钝化层Ⅱ开口,所述钝化层Ⅱ开口露出再布线金属层的上层焊盘;
所述钝化层Ⅱ上方设置金属连接件Ⅱ,所述金属连接件Ⅱ与再布线金属层的上层焊盘连接。
可选地,所述金属连接件Ⅰ由下而上依次设置粘附阻挡层、金属种子层Ⅰ和金属凸块,所述粘附阻挡层是一层或两层材料构成的复合层。
可选地,所述金属凸块的横截面形状包括但不限于矩形、圆形或椭圆形。
可选地,所述金属种子层Ⅰ和金属凸块为一体结构。
可选地,所述金属连接件Ⅱ由下而上依次包括粘附层、金属种子层Ⅱ、金属柱和焊锡球。
可选地,所述金属种子层Ⅱ和金属柱为一体结构,所述金属柱的横截面形状包括但不限于矩形、圆形或椭圆形。
有益效果
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