[实用新型]一种硅片生产用清洗装置有效

专利信息
申请号: 202022690451.6 申请日: 2020-11-19
公开(公告)号: CN214321058U 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 方勇华;詹玉峰;陈跃华;方萌 申请(专利权)人: 浙江旭盛电子有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B7/00;F26B21/00;H01L21/67
代理公司: 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 代理人: 钱磊
地址: 324300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 生产 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种硅片生产用清洗装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的顶部搭接有盖板(5),所述盖板(5)的上表面固定连接有加压箱(8),所述盖板(5)的下表面固定连接有水箱(6),所述水箱(6)的下表面固定连接有喷头(10),所述加压箱(8)的下表面固定连接有导管(7),所述导管(7)远离加压箱(8)的一端贯穿盖板(5)并与水箱(6)的上表面固定连接,所述箱体(1)的右侧固定连接有固定架(13),所述固定架(13)远离箱体(1)的一端固定连接有电机(14),所述电机(14)的输出端固定连接有连接轴(20),所述连接轴(20)远离电机(14)的一端贯穿箱体(1)并延伸至箱体(1)的内部,所述连接轴(20)的左端与箱体(1)的左侧内壁搭接,所述连接轴(20)的上表面固定连接有安装板(21),所述安装板(21)的上表面固定连接有漏网盒(18),所述漏网盒(18)的数量为六个,六个漏网盒(18)的顶部均搭接有漏网盖(16),六个漏网盖(16)之间通过固定杆(17)固定连接,所述漏网盖(16)的左侧固定连接有螺纹环(24),所述螺纹环(24)的内部螺纹连接有螺杆(25),所述连接轴(20)的上表面固定连接有固定块(22),所述固定块(22)的上表面开设有螺纹槽(23),所述螺杆(25)的底端与螺纹槽(23)的内部螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用清洗装置,其特征在于:所述连接轴(20)的表面固定连接有密封圈(15),所述密封圈(15)的左侧与箱体(1)的右侧搭接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用清洗装置,其特征在于:所述箱体(1)的左右两侧均开设有与箱体(1)内部相连通的通气孔(11),两个通气孔(11)的内部均塞有密封塞(12)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用清洗装置,其特征在于:所述箱体(1)的底部开设有与箱体(1)内部相连通的出水孔(19)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用清洗装置,其特征在于:所述箱体(1)的左侧固定连接有支架(2),所述支架(2)的顶端固定连接有转轴(4),所述转轴(4)的表面套接有转轮(3),所述转轮(3)的右侧表面与盖板(5)的左侧固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片生产用清洗装置,其特征在于:所述盖板(5)的上表面固定连接有把手(9)。

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