[实用新型]一种用于硅片的修整装置

说明书

本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种用于硅片的修整装置，包括机箱、工作台和支撑盘，所述工作台的底部与机箱的顶部固定连接，所述支撑盘的底部与工作台的顶部固定连接，所述支撑盘的顶部开设有放置腔，所述工作台的一侧固定连接有支撑柱。该用于硅片的修整装置，通过液压缸推动抛光电机和抛光片下降，通过抛光片对硅片的表面进行修整，当硅片修整完成后，通过电动推杆可以推动偏心轮转动，偏心轮在转动的过程中，其顶部会推动活动板向上移动，带动顶出杆向上移动，顶出杆的顶端推动硅片向上移动，使得硅片从放置腔的内部分离，从而使得该装置达到了便于将抛光之后的硅片从装置的内部取出的效果。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种用于硅片的修整装置。

背景技术

地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，广泛运用于高科技产业。

在硅片加工完成后，需要对硅片进行抛光修整，将硅片放置到修整装置的内部，然后通过抛光装置来对硅片的表面进行抛光，使得抛光表面具有晶格完整性、高的平面度及洁净性，这类装置在抛光完成之后，需要将硅片从装置的内部取出，在取出的过程中，由于硅片的底部紧贴在装置的表面，使得硅片不方便拿取，为此我们提出了一种用于硅片的修整装置。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于硅片的修整装置，具备便于将抛光之后的硅片从装置的内部取出的优点，解决了上述背景技术中所提出的问题。

(二)技术方案

本实用新型提供如下技术方案：一种用于硅片的修整装置，包括机箱、工作台和支撑盘，所述工作台的底部与机箱的顶部固定连接，所述支撑盘的底部与工作台的顶部固定连接，所述支撑盘的顶部开设有放置腔，所述工作台的一侧固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶部固定连接有安装有旋转电机，所述旋转电机的一侧固定连接有伸缩臂，所述伸缩臂远离旋转电机的一侧固定连接有顶板，所述顶板的内部固定连接有液压缸，所述液压缸的底部固定安装有抛光电机，所述抛光电机的底部固定连接有抛光片。

所述工作台的内部开设有空槽，所述空槽的内部开设有偏心轮，所述空槽的内侧壁固定连接有电动推杆，所述电动推杆远离空槽内侧壁的一端通过连杆与偏心轮的一侧活动连接，所述偏心轮的顶部搭接有活动板，所述活动板的顶部固定连接有顶出杆，所述工作台的顶部固定连接有导向柱，所述活动板与导向柱活动连接。

优选的，所述顶板底部的两侧均固定连接有导向套管，所述导向套管的底端与抛光电机的两侧固定连接。

优选的，所述连杆的一端与电动推杆的一端铰接，所述连杆的另一端与偏心轮的一侧铰接。

优选的，所述活动板的内部开设有导向槽，所述导向柱与导向槽的内部活动连接。

优选的，所述放置腔的底部为空心设置，所述顶出杆与放置腔的内部活动连接。

优选的，所述导向柱的顶端固定连接有挡块，所述挡块的底部与活动板的底部搭接。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于硅片的修整装置，具备以下有益效果：

1、该用于硅片的修整装置，将需要加工的硅片放置到支撑盘顶部的放置腔内，再通过液压缸推动抛光电机和抛光片下降，通过抛光片对硅片的表面进行修整，当硅片修整完成后，通过电动推杆可以推动偏心轮转动，偏心轮在转动的过程中，其顶部会推动活动板向上移动，带动顶出杆向上移动，顶出杆的顶端推动硅片向上移动，使得硅片从放置腔的内部分离，从而使得该装置达到了便于将抛光之后的硅片从装置的内部取出的效果。