[实用新型]半导体清洗剂用Y型过滤器

说明书

本实用新型揭示了一种半导体清洗剂用Y型过滤器，包括过滤器本体，设置于过滤器内的滤芯，所述滤芯包括一均布有过滤孔的折叠式柔性波纹管，所述柔性波纹管的上端为与所述过滤器内部机械连接的上连接端，所述柔性波纹管的下端为与所述过滤器过滤出口端连接的下连接端。本实用新型的有益效果为：加强了滤芯与过滤器之间的连接，确保了过滤的精度，能更好的适用于高清洗精度的清洗剂的过滤，同时，增强了过滤面积，提高了过滤效率。

技术领域

本实用新型涉及一种过滤器，尤其涉及一种半导体清洗剂用Y型过滤器。

背景技术

Y型过滤器是输送介质的管道系统不可缺少的一种过滤装置，Y型过滤器通常安装在减压阀、泄压阀、定水位阀或其它设备的进口端，用来清除介质中的杂质，以保护阀门及设备的正常使用。Y型过滤器一般包括接管及设置于接管内的滤芯，流体经过接管内的滤芯后将杂质过滤遗留至滤芯内，过滤后的流体从接管出口流出。现有的滤芯一般采用硬质金属直筒网管，安装时，其一端直接插入接管内，底部通过连接螺栓与接管固定，但对于一些精度要求高的流体而言，很可能杂质依旧会从滤芯有接管缝隙内通过，导致后续流体精度无法满足要求。同时，过滤效率较低。

实用新型内容

鉴于现有技术存在上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种半导体清洗剂用Y型过滤器。

本实用新型的目的，将通过以下技术方案得以实现：

半导体清洗剂用Y型过滤器，包括过滤器本体，设置于过滤器内的滤芯，所述滤芯包括一均布有过滤孔的折叠式柔性波纹管，所述柔性波纹管的上端为与所述过滤器内部机械连接的上连接端，所述柔性波纹管的下端为与所述过滤器过滤出口端连接的下连接端。

优选地，所述上连接端表面设置有外螺纹，所述过滤器内壁开设有与所述外螺纹相匹配的内螺纹，所述柔性波纹管与所述过滤器内部螺纹连接。

优选地，所述柔性波纹管的上连接端上设置有一连接法兰，所述连接法兰与所述过滤器内壁之间通过螺栓连接，所述连接法兰与所述过滤器内壁还设置有一垫片。

优选地，所述下连接端上设置有可拆卸的堵头，所述堵头与所述过滤器之间设置有密封垫圈。

优选地，所述堵头的一侧设置有一用于检测过滤器内部压力的压力检测仪。

优选地，所述过滤器的介质出口端设置有一传感器。

优选地，所述传感器与设置于过滤器外部的报警机构连接。

本实用新型的有益效果为：加强了滤芯与过滤器之间的连接，确保了过滤的精度，能更好的适用于高清洗精度的清洗剂的过滤，同时，增强了过滤面积，提高了过滤效率。

以下便结合实施例附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详述，以使本实用新型技术方案更易于理解、掌握。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的滤芯结构示意图。

具体实施方式

本实用新型揭示了一种半导体清洗剂用Y型过滤器，如图1所示，包括过滤器本体1，设置于过滤器内1的滤芯2。所述过滤器本体1与现有技术一致，设置有一介质进料口11、介质出料口12及杂质出料口13。所述过滤器的进料端通过螺栓孔4与待过滤介质出料口连接。

结合图2所示，与现有技术不同的是，所述滤芯2包括一均布有过滤孔的折叠式柔性波纹管21，所述柔性波纹管21的上端为与所述过滤器1内部机械连接的上连接端，所述柔性波纹管21的下端为与所述过滤器1过滤出口端连接的下连接端。

本实施例图中所示的所述柔性波纹管21的上连接端上设置有一连接法兰22，所述连接法兰22与所述过滤器1内壁之间通过螺栓连接。为保证密封性，所述连接法兰22与所述过滤器1内壁还设置有一垫片（图中未示意）。