[实用新型]卧式炉管用排片舟

说明书

卧式炉管用排片舟。提供了一种结构简单，方便加工，充分利用空间的卧式炉管用排片舟。包括设于炉管内的板状舟体，所述舟体上均布设有限位单元，所述限位单元包括四只插棒，所述插棒可拆卸连接在舟体上；所述舟体沿炉管中心线方向的底部两端分别设有倒角，所述倒角的端面可拆卸设有定位部。所述定位部的截面呈三角形。所述定位部的截面呈扇形。所述定位部上设有定位销，所述倒角的端面设有定位槽，所述定位销连接在定位槽内。本实用新型方便加工，操作可靠。

技术领域

本实用新型涉及晶片加工领域，尤其涉及一种卧式炉管用排片舟。

背景技术

目前生产过程中使用的板舟，包含针对不同晶片尺寸使用不同的舟，由于生产产品多样性及不同时段不同需求量，不同的舟均需配置一定的安全库存，导致治具的浪费和较大的投入，同时受不同尺寸工艺特定要求和更新，需增加投入更多的舟确保产能最大化，不便于生产管理。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单，方便加工，充分利用空间的卧式炉管用排片舟。

本实用新型的技术方案为：包括设于炉管内的板状舟体，所述舟体上均布设有限位单元，所述限位单元包括四只插棒，所述插棒可拆卸连接在舟体上；

所述舟体沿炉管中心线方向的底部两端分别设有倒角，所述倒角的端面可拆卸设有定位部。

所述定位部的截面呈三角形。

所述定位部的截面呈扇形。

所述定位部上设有定位销，所述倒角的端面设有定位槽，所述定位销连接在定位槽内。

所述限位单元包括限位单元一、限位单元二和限位单元三，所述限位单元一内的晶片直径＜限位单元二内的晶片直径＜限位单元三内的晶片直径。

所述舟体的一端设有推拉孔。

本实用新型在工作中，通过在常规板状舟体的底部两端设置倒角，在晶片堆叠在限位单元时，将具有倒角的舟体放置炉管内，增加了容置空间，从而增加了排片数量；设置定位部，便于根据工作需要进行设置，若干晶片数量有限时，将定位部连接在舟体上，缩小容置空间，适应晶片的数量，从而可靠定位放置。

本实用新型方便加工，操作可靠。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图，

图2是图1的左视图，

图3是本实用新型的工作状态图一，

图4是本实用新型的工作状态图二，

图中1是炉管，2是舟体，3是限位单元，30是插棒，31是限位单元一，32是限位单元二，33是限位单元三，

4是倒角，5是定位部，6是定位销，7是推拉孔。

具体实施方式

本实用新型如图1-4所示，包括设于炉管1内的板状舟体2，所述舟体上均布设有限位单元3，所述限位单元包括四只插棒30，所述插棒可拆卸连接在舟体上；

所述舟体沿炉管中心线方向的底部两端分别设有倒角4，所述倒角的端面可拆卸设有定位部5。

本实用新型在工作中，通过在常规板状舟体的底部两端设置倒角，在晶片堆叠在限位单元时，将具有倒角的舟体放置炉管内，增加了容置空间，从而增加了排片数量；设置定位部，便于根据工作需要进行设置，若干晶片数量有限时，将定位部连接在舟体上，缩小容置空间，适应晶片的数量，从而可靠定位放置。

所述定位部5的截面呈三角形。

便于根据工作需要，进行选择设置。

所述定位部5的截面呈扇形。