[实用新型]一种导轮开槽槽型结构

说明书

本实用新型提供一种导轮开槽槽型结构，包括第一槽侧壁、第二槽侧壁和槽底部，第一槽侧壁与第二槽侧壁分别与槽底部连接，其中，第一槽侧壁与第二槽侧壁以第一角度相交设置；槽底部包括槽底壁一和槽底壁二，槽底壁一与槽底壁二以第二角度相交设置。本实用新型的有益效果是开槽具有两个槽角度，槽侧壁按照第一角度的设置，便于金刚线进入开槽内，槽侧壁按照第二角度的设置，使得开槽与金刚线线径相匹配，使得相当长时间内跳线、断线、布线网困难、预热卷线等情况发生的概率大大减小。

技术领域

本实用新型属于硅片切割技术领域，尤其是涉及一种导轮开槽槽型结构。

背景技术

目前硅片切割技术在追求薄片化、细线化、高效化方向发展，目前硅片切割采用金刚石线切片技术，其机理是机器带动缠绕在导轮上的金刚线发生高速运转，与单晶硅棒发生摩擦完成切割。此过程中导轮寿命有限，为保证切割稳定，需要定时更换导轮，若不及时更换会造成切割过程中出现线痕、TTV等参数不良情况，影响生产合格率，造成经济损失。更换导轮时，由于导轮的槽深度、槽角度以及R值影响，易出现跳线、断线、布线网困难、预热卷线等情况，严重影响生产效率。

发明内容

鉴于上述问题，本实用新型提供一种导轮开槽槽型结构，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种导轮开槽槽型结构，包括第一槽侧壁、第二槽侧壁和槽底部，第一槽侧壁与第二槽侧壁分别与槽底部连接，其中，第一槽侧壁与第二槽侧壁以第一角度相交设置；

槽底部包括槽底壁一和槽底壁二，槽底壁一与槽底壁二以第二角度相交设置。

进一步的，槽底部设有一圆弧凹槽，圆弧凹槽的两端分别与槽底壁一和槽底壁二连接。

进一步的，圆弧凹槽的半径为0.01um-0.03um。

进一步的，第一角度为20°-40°。

进一步的，第二角度为80°-100°。

进一步的，开槽槽深为240um-280um。

进一步的，槽底部的开口宽度为90um-110um。

一种导轮，包括上述的导轮开槽槽型结构。

由于采用上述技术方案，使得导轮开槽槽型结构的结构简单，对槽深度、槽角度等进行调整，随着槽的深度的增加，开槽的槽角度逐渐变化，开槽具有两个槽角度，槽侧壁按照第一角度的设置，便于金刚线进入开槽内，槽侧壁按照第二角度的设置，使得开槽与金刚线线径相匹配，使得相当长时间内跳线、断线、布线网困难、预热卷线等情况发生的概率大大减小，解决更换导轮后出现跳线、断线、布线网困难、预热卷线等严重影响生产效率的问题，开槽与金刚线的线径相匹配，凹槽的设置，便于金刚线的放置，使得金刚线与导轮开槽充分接触，增大摩擦力，使细线不易产生跳线。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例的结构示意图；

图2是图1的A部放大图。

图中：

1、第一槽侧壁 2、第二槽侧壁 3、槽底壁一

4、槽底壁二 5、金刚线 A、第一角度

B、第二角度 W、开口宽度 L、槽深

6、圆弧凹槽 R、半径

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。