[实用新型]负性光刻胶自动取样装置

说明书

本实用新型涉及光刻胶取样技术领域，且公开了负性光刻胶自动取样装置，包括主筒，所述主筒的底端固定连通有副筒，所述副筒的底端固定安装有吸盘，所述副筒的外侧面固定套接有固定套，所述固定套的底端等角度固定安装有固定杆。该负性光刻胶自动取样装置，通过在副筒的外侧面固定套接有固定套且在固定套的底端固定有固定杆，当需要对光刻胶进行吸取时可通过将底座的底端与盛有光刻胶的容器内腔底端进行接触，亦可通过将吸盘与容器内腔底端进行固定，而位于活动杆顶端的缓冲弹簧则可以适应吸盘的形变带动活动杆相对固定杆发生位移以适应不同的工况，此时即可通过连接杆实现光刻胶的吸取，从而实现了无需手持的优点。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶取样技术领域，具体为负性光刻胶自动取样装置。

背景技术

负性光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种由感光树脂、增感剂（见光谱增感染料）和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。感光树脂经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得这种材料的物理性能，特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理，溶去可溶性部分，得到所需图像（见图光致抗蚀剂成像制版过程）。光刻胶广泛用于印刷电路和集成电路的制造以及印刷制版等过程。光刻胶的技术复杂，品种较多。根据其化学反应机理和显影原理，可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶；反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照后变成可溶物质的即为正性胶。利用这种性能，将光刻胶作涂层，就能在硅片表面刻蚀所需的电路图形。基于感光树脂的化学结构，光刻胶可以分为三种类型。①光聚合型，采用烯类单体，在光作用下生成自由基，自由基再进一步引发单体聚合，最后生成聚合物，具有形成正像的特点。②光分解型，采用含有叠氮醌类化合物的材料，经光照后,会发生光分解反应,由油溶性变为水溶性，可以制成正性胶。③光交联型，采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料,在光的作用下,其分子中的双键被打开，并使链与链之间发生交联，形成一种不溶性的网状结构，而起到抗蚀作用，这是一种典型的负性光刻胶。柯达公司的产品KPR胶即属此类。感光树脂在用近紫外光辐照成像时，光的波长会限制分辨率（见感光材料）的提高。为进一步提高分辨率以满足超大规模集成电路工艺的要求，必须采用波长更短的辐射作为光源。由此产生电子束、X 射线和深紫外(250nm)刻蚀技术和相应的电子束刻蚀胶，X射线刻蚀胶和深紫外线刻蚀胶。其中，负性光刻胶生产工艺流程：将原料环化聚异戊二烯胶液（浓缩液RCIS）及二甲苯按一定的配比从吸料口分别用隔膜泵打入调配釜；加入一定量的BAC-M，充氮气搅拌，使之充分溶解，混合均匀后取样，进行中控检验，符合《过程产品控制规格》；合格后，将胶液循环过滤至100级净化台内灌装，灌装过程中进行成品检验，然后进行外包装；包装检验合格后，入库。在生产过程中常需要对光刻胶进行取样操作以对其进行检验，此时就需要使用到一种光刻胶的取样装置。

现有的光刻胶取样装置一般为去掉针头的针管组成的，在实际使用时需要将该装置的底端插入装有光刻胶的容器内部进行光刻胶的吸取，但这种装置仅能吸取少部分的光刻胶在面对需要一定容量的光刻胶取样时需要一直手持该装置进行吸取容易造成操作人员的手臂酸痛，无法满足实际使用需求。

目前所使用的光刻胶取样装置在进行取样过程中需要实现排出装置内部的空气再利用负压原理将光刻胶吸取到装置的内部，在吸取过程中需要操作人员向上拉去连接杆带动活塞板相对筒体进行位移将光刻胶吸取到装置的内部，但这种装置无法做到自动取样仍需手动进行操作，使用起来较为不便。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了负性光刻胶自动取样装置，具备无需手持和自动取样的优点，解决了上述背景技术中提出的问题。

本实用新型提供如下技术方案：负性光刻胶自动取样装置，包括主筒，所述主筒的底端固定连通有副筒，所述副筒的底端固定安装有吸盘，所述副筒的外侧面固定套接有固定套，所述固定套的底端等角度固定安装有固定杆，所述固定杆的底端活动套接有活动杆，所述活动杆的底端固定安装有底座，所述活动杆的顶端固定安装有位于固定杆内部的缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的顶端与固定杆内腔的顶端固定连接。