[实用新型]一种用于CVD单晶金刚石生长的钼托有效
| 申请号： | 202022457607.6 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN213624469U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王凯;秦静 | 申请（专利权）人： | 美若科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B29/04 |
| 代理公司： | 济南文衡创服知识产权代理事务所(普通合伙) 37323 | 代理人： | 刘真 |
| 地址： | 276800 山东省日*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cvd 金刚石 生长 | ||
1.一种用于CVD单晶金刚石生长的钼托，包括钼托本体(1)，其特征在于：所述钼托本体(1)的四个面分别开设有四个不同形状的放置槽(2)，所述放置槽(2)内活动安装有支撑板(3)，所述支撑板(3)底部焊接有调节块(4)，所述钼托本体(1)内开设有圆形腔(21)，所述圆形腔(21)内转动安装有转动杆(6)，所述转动杆(6)的外边侧焊接有顶料板(7)，所述调节块(4)一端穿过所述钼托本体(1)延伸至所述圆形腔(21)内，所述调节块(4)位于所述圆形腔(21)内部的一端焊接有弧形突起(5)。
2.根据权利要求1所述的一种用于CVD单晶金刚石生长的钼托，其特征在于：所述转动杆(6)一端通过转动轴安装在所述圆形腔(21)内，所述转动杆(6)另一端穿出所述圆形腔(21)延伸至所述钼托本体(1)外壁。
3.根据权利要求2所述的一种用于CVD单晶金刚石生长的钼托，其特征在于：所述转动杆(6)位于所述钼托本体(1)外部的一端焊接有转动把手(8)，所述转动把手(8)的外壁上设置有防滑纹。
4.根据权利要求1所述的一种用于CVD单晶金刚石生长的钼托，其特征在于：所述钼托本体(1)的外壁一侧开设有方形卡槽(9)，所述方形卡槽(9)内卡设有可拆卸夹具(10)。
5.根据权利要求4所述的一种用于CVD单晶金刚石生长的钼托，其特征在于：所述可拆卸夹具(10)包括方形卡块(11)、第一转动架(12)、第一转动杆(13)、第二转动架(14)、第二转动杆(15)、第三转动架(16)和吸附机构(17)。
6.根据权利要求5所述的一种用于CVD单晶金刚石生长的钼托，其特征在于：所述第一转动杆(13)通过第一转动架(12)转动安装在所述方形卡块(11)的一侧，所述第二转动杆(15)通过第二转动架(14)转动安装在所述第一转动杆(13)的一侧。
7.根据权利要求6所述的一种用于CVD单晶金刚石生长的钼托，其特征在于：所述吸附机构(17)通过第三转动架(16)转动安装在所述第二转动杆(15)的一侧，所述吸附机构(17)包括固定管(18)、真空泵(19)和吸附盘(20)。
8.根据权利要求7所述的一种用于CVD单晶金刚石生长的钼托，其特征在于：所述真空泵(19)和所述吸附盘(20)分别固定安装在所述固定管(18)的两端，所述真空泵(19)的吸气端和所述吸附盘(20)连通。
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