[实用新型]一种半导体运输装置

权利要求书

1.一种半导体运输装置，其特征在于：所述的半导体运输装置包括用于盛放工件的料盘（1）、料盘竖直搬运机构（2）、料盘水平搬运机构（3）、料盘翻转卸料机构（4）；所述的料盘水平搬运机构（3）有两个呈上下分布设置，料盘水平搬运机构（3）两端侧方分别设有一个料盘竖直搬运机构（2），料盘水平搬运机构（3）末端设有料盘翻转卸料机构（4）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体运输装置，其特征在于：所述的料盘竖直搬运机构（2）包括安装板（2-1）、真空吸盘（2-2）、气缸（2-3）、线性模组Ⅰ（2-4）；所述的线性模组Ⅰ（2-4）竖直设置，安装板（2-1）设置在线性模组Ⅰ（2-4）上，由线性模组Ⅰ（2-4）带动其上下移动，安装板（2-1）下方设有可上下移动的真空吸盘（2-2），真空吸盘（2-2）通过设置在安装板（2-1）上的气缸（2-3）带动其上下移动。

3.根据权利要求2所述的一种半导体运输装置，其特征在于：所述的安装板（2-1）上设有通孔（2-5），通孔（2-5）内设有用于将工件压入料盘（1）的螺栓（2-6），螺栓（2-6）的顶部旋接有位于安装板（2-1）上方的螺母（2-7），螺栓（2-6）上设有位于安装板（2-1）下方的弹簧（2-8）。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种半导体运输装置，其特征在于：所述的料盘水平搬运机构（3）包括线性模组Ⅱ（3-1）和承载板（3-2），所述的线性模组Ⅱ（3-1）水平设置，承载盘安装在线性模组Ⅱ（3-1）上，由线性模组Ⅱ（3-1）带动其左右移动。

5.根据权利要求4所述的一种半导体运输装置，其特征在于：所述的料盘翻转卸料机构（4）包括安装座（4-1）、翻转电机（4-2）、翻转架（4-3）、成品载料平台（4-4）、气缸Ⅰ（4-5）、暂存卸料台（4-6）、真空吸盘Ⅰ（4-7）；所述的安装座（4-1）上转动安装有翻转架（4-3），翻转架（4-3）上设有空吸盘Ⅰ（4-7），翻转架（4-3）通过翻转电机（4-2）驱使转动；所述的安装座（4-1）底部设有用于驱使其上移动的气缸Ⅰ（4-5），安装座（4-1）两侧分别设有暂存卸料台（4-6）和成品载料平台（4-4）。

6.根据权利要求5所述的一种半导体运输装置，其特征在于：PLC（5）信号输出端分别连接有真空吸盘（2-2）、气缸（2-3）、线性模组Ⅰ（2-4）、线性模组Ⅱ（3-1）、翻转电机（4-2）。