[实用新型]一种晶体生长坩埚内部气压监测装置有效
| 申请号： | 202022243673.3 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN213739775U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 唐华纯 | 申请（专利权）人： | 上海御光新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 上海浙晟知识产权代理事务所(普通合伙) 31345 | 代理人： | 杨秀伟 |
| 地址： | 200000 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 坩埚 内部 气压 监测 装置 | ||
1.一种晶体生长坩埚内部气压监测装置，包括底座(1)、出料管(3)、和坩埚(4)，所述底座(1)的顶部外壁通过螺栓固定有支柱(2)，所述支柱(2)的顶部外壁与坩埚(4)的顶部外壁通过螺栓固定连接，其特征在于：所述坩埚(4)的顶部外壁开设有通孔，穿过通孔在坩埚(4)的顶部外壁通过螺钉固定有测试管(5)，所述测试管(5)的一侧外壁通过螺栓固定有阀门(8)，且测试管(5)的一侧外壁套接有压力显示机构，所述坩埚(4)的一侧外壁通过螺钉固定有测试箱(6)，所述测试箱(6)的顶部外壁与测试管(5)的一端通过套接连接，所述测试箱(6)的一侧内壁开始有滑轨，滑轨的内壁插接有滑块(20)，所述滑块(20)的一侧外壁粘接有托板(21)，所述托板(21)的顶部外壁设置有弹簧感应机构。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长坩埚内部气压监测装置，其特征在于：所述压力显示机构包括扇叶箱(10)，所述扇叶箱(10)与测试管(5)通过螺钉固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶体生长坩埚内部气压监测装置，其特征在于：所述扇叶箱(10)的一侧内壁通过转速感应器(16)，所述转速感应器(16)的一侧外壁连接有扇叶(11)。
4.根据权利要求2所述的一种晶体生长坩埚内部气压监测装置，其特征在于：所述扇叶箱(10)的一侧外壁通过螺钉固定有显示屏(9)。
5.根据权利要求1所述的一种晶体生长坩埚内部气压监测装置，其特征在于：所述弹簧感应机构包括弹簧(19)，所述弹簧(19)通过螺钉固定于托板(21)的顶部外壁。
6.根据权利要求5所述的一种晶体生长坩埚内部气压监测装置，其特征在于：所述弹簧(19)的顶端通过螺钉固定有弧形挡板(18)。
7.根据权利要求1所述的一种晶体生长坩埚内部气压监测装置，其特征在于：所述测试管(5)的一端套接于测试箱(6)的内壁，且测试管(5)的一端套接有细管(15)。
8.根据权利要求1所述的一种晶体生长坩埚内部气压监测装置，其特征在于：所述测试箱(6)的底部内壁通过螺钉固定有触发器(22)，且测试箱(6)的顶部外壁粘接有显示灯(17)。
9.根据权利要求1所述的一种晶体生长坩埚内部气压监测装置，其特征在于：所述托板(21)的底部外壁通过轴承连接有螺纹杆(14)，所述螺纹杆(14)的与测试箱(6)的底部通过螺纹连接。
10.根据权利要求1所述的一种晶体生长坩埚内部气压监测装置，其特征在于：所述坩埚(4)的一侧外壁通过铰链连接有箱门(12)，所述箱门(12)的一侧外壁通过螺钉固定有把手(13)。
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