[实用新型]一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构

权利要求书

1.一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，包括底座(4)和连接筒(5)，其特征在于：所述连接筒(5)的上端安装有底座(4)，所述底座(4)的上端设置有真空炉(2)，所述真空炉(2)的上端外壁上设置有冷却水管道(1)，所述冷却水管道(1)的下端外壁穿过真空炉(2)并设置在真空炉(2)的内部，所述真空炉(2)内部的底座(4)上端外壁上设置有真空仓门(10)，所述真空仓门(10)右侧的真空炉(2)内部设置有加热棒(3)，所述底座(4)的上端内部设置有对位板(11)，所述对位板(11)的下端外壁上设置有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)的下端外壁穿过连接筒(5)并设置在连接筒(5)的内部，所述螺纹杆(6)的下端外壁上设置有挡板(7)，所述连接筒(5)上端内壁上的螺纹杆(6)外部套接有螺旋套(8)，所述螺旋套(8)的前端上侧外部套接有连接环(12)，所述连接环(12)的外部套接有套环(9)，所述套环(9)的上端外壁和连接筒(5)的内壁通过焊接的方式固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，其特征在于：所述对位板(11)的下端外部套接有密封垫圈，所述对位板(11)通过密封垫圈和底座(4)的上端内壁密封连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，其特征在于：所述连接环(12)的外壁和套环(9)的内壁能够完全贴合，所述套环(9)的内壁均为光滑壁。

4.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，其特征在于：所述对位板(11)的上端面和底座(4)的上端外壁处于同一水平时，所述螺纹杆(6)下端的挡板(7)和连接筒(5)的下端外壁处于同一水平面。

5.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，其特征在于：所述螺旋套(8)的外壁上设置有摩擦纹，所述螺旋套(8)的内部设置有和螺纹杆(6)匹配的内螺纹。

6.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，其特征在于：所述加热棒(3)共设置有两个，两个所述加热棒(3)分别设置在真空仓门(10)左右侧的真空炉(2)内部。