[实用新型]一种晶圆片贴膜用固定摆放治具

说明书

本实用新型涉及晶圆贴膜技术领域，尤其涉及一种晶圆片贴膜用固定摆放治具，包括整体呈方形的治具本体，其特征是，所述治具本体上开设有若干用于放置晶圆的固定槽，所述固定槽的截面呈半椭圆形；所述治具本体上还开设有螺纹孔。晶圆的截面一般为椭圆形，本实用新型通过将治具本体上的固定槽设置成半椭圆形，以便和晶圆相契合，从而实现对晶圆的精确固定，方便通过机械夹取，避免产生夹取偏差。

技术领域

本实用新型涉及晶圆贴膜技术领域，尤其涉及一种晶圆片贴膜用固定摆放治具。

背景技术

随着科技的发展，手机、相机等电子产品在生活中发挥的作用越来越大，同时对制备电子产品的光电元件要求也越来越高。制备光电器件的材料有多种，晶圆便是其中的一种。

随着科学技术的进步，对晶圆贴膜的过程中，很多工序都已经实现了自动或半自动化，通过程序化的机械来夹取提前放置在排放治具中的晶圆，然后将夹取的晶圆投放到下一工序中，这种操作是极为普遍的。但是现有的排放治具不能够对晶圆起到很好的固定作用，晶圆经常会在现有排放治具中产生晃动，从而导致晶圆的夹取动作不能顺畅进行，有时由于夹取偏差的原因甚至会对晶圆造成损坏。

另外，现有的晶圆排放治具，很多都是“一个萝卜一个坑”，每个放置位只能放置一个晶圆，这样就会使每个治具上要开设很多放置位，制造较为麻烦。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供一种晶圆片贴膜用固定摆放治具。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆片贴膜用固定摆放治具，包括整体呈方形的治具本体，所述治具本体上开设有若干用于放置晶圆的固定槽，所述固定槽的截面呈半椭圆形；所述治具本体上还开设有螺纹孔。

优选地，还包括固定卡块，所述固定卡块的至少一端开设有呈半椭圆形的卡槽，所述固定卡块下表面的两侧均开设有滑槽，所述固定槽两侧的治具本体上均设有滑轨，所述滑槽与滑轨相匹配。

优选地，所述滑槽表面附有磁条层，所述滑轨为铁磁性材料。

优选地，所述滑轨由金属铁、钴、镍或其合金制成。

本实用新型的有益效果是：1)晶圆的截面一般为椭圆形，本实用新型通过将治具本体上的固定槽设置成半椭圆形，以便和晶圆相契合，从而实现对晶圆的精确固定，方便通过机械夹取，避免产生夹取偏差。2)固定卡块的设置，当一个固定槽内放置多个晶圆时，固定卡块能够将其隔开并实现固定；而且由于固定卡块的滑槽内设有磁条层，能够吸附在滑轨上，故而固定卡块能够通过磁条层与滑轨的吸附作用固定在固定槽上方的任意位置，卡固不同大小的晶圆，使本治具适用范围更广泛。

附图说明

图1是治具本体的正视图。

图2是图1中B-B处的剖视图。

图3是固定卡块的正面结构示意图。

图4是固定卡块的底面结构示意图。

图5是治具本体与固定卡块配合的结构示意图。

图6是图5中A处的放大图。

其中：1-治具本体，2-固定槽，3-螺纹孔，4-固定卡块，5-卡槽，6-滑槽， 7-滑轨，8-磁条层。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

一种晶圆片贴膜用固定摆放治具，如图1到图6所示，包括整体呈方形的治具本体1，所述治具本体1上开设有若干用于放置晶圆的固定槽2，所述固定槽2的截面呈半椭圆形，由于晶圆的截面一般为椭圆形，故而将晶圆放置到截面呈半椭圆形的固定槽2内，相互增加契合，避免晶圆产生晃动；在所述治具本体1上还开设有螺纹孔3，通过螺栓的配合，能够将治具固定在操作台上，防止治具移位。