[实用新型]一种硅环喷砂机

说明书

本实用新型公开了一种硅环喷砂机，旨在解决硅环表面破碎层去除不便，劳动强度大，工作效率低的不足。该实用新型包括喷砂箱、注砂压力罐、负压回砂罐，喷砂箱内安装喷砂管、用于装载硅环的旋转台，喷砂管一端连接喷砂嘴，喷砂管另一端连接到注砂压力罐，喷砂嘴朝向旋转台设置，送砂管上安装喷砂阀门，负压回砂罐和喷砂箱之间连接回砂管。这种硅环喷砂机能有效去除加工中心加工后硅环表面的损伤和刀痕，得到稳定的表面粗糙度，以达到化学刻蚀的要求，降低了劳动强度，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体硅环加工技术，更具体地说，它涉及一种硅环喷砂机。

背景技术

硅环是集成电路制造过程中的辅助部件，主要用在离子注入工序中，用于支撑和固定硅片。硅环整体外形结构一般使用加工中心完成加工，但刀具加工后会在硅环表面产生破碎层，而且硅环上的卡槽和台阶由于其形状和结构多样性，难以用正常的修理工艺将不良破碎层去除。目前大多采用手工研磨方法去除硅环表面破碎层，手工研磨的不稳定性，会使得在化学刻蚀阶段这些缺陷将会显露出来，影响成品率。而且手工研磨劳动强度大，工作效率低。

实用新型内容

为了克服上述不足，本实用新型提供了一种硅环喷砂机，它能有效去除加工中心加工后硅环表面的损伤和刀痕，得到稳定的表面粗糙度，以达到化学刻蚀的要求。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：一种硅环喷砂机，包括喷砂箱、注砂压力罐、负压回砂罐，喷砂箱内安装喷砂管、用于装载硅环的旋转台，喷砂管一端连接喷砂嘴，喷砂管另一端连接到注砂压力罐，喷砂嘴朝向旋转台设置，送砂管上安装喷砂阀门，负压回砂罐和喷砂箱之间连接回砂管。

硅环喷砂操作时，先将硅环装载在喷砂箱内的旋转台上，然后启动装置，开启喷砂阀门，注砂压力罐内的砂子在高压气流作用下经过送砂管并从喷砂嘴喷出，撞击到硅环表面上，去除硅环表面的损伤和刀痕，使硅环的表面获得一定的清洁度和稳定的粗糙度，表面的机械性能得到改善，提高硅环的抗疲劳性。负压回砂罐内产生负压，将喷砂箱内的砂子吸入负压回砂罐内，完成砂子的回收。硅环一面完成喷砂后换一面进行喷砂。这种硅环喷砂机能有效去除加工中心加工后硅环表面的损伤和刀痕，得到稳定的表面粗糙度，以达到化学刻蚀的要求，降低了劳动强度，提高了工作效率。

作为优选，喷砂箱底部设有V形的回砂槽。V形的回砂槽便于砂子的沉积收集。

作为优选，喷砂箱上设有若干补风孔。补风孔作为喷砂箱内部和外部的压力差窗口，便于喷砂箱内漂浮砂子的回收。

作为优选，回砂管包括主管道、底部管道，主管道连接到喷砂箱上靠近旋转台高度位置，底部管道连接到喷砂箱底部。主管道作为主要收集砂子的通道，通过与补风孔之间形成的压力差，将喷砂后悬浮在空气中的砂子直接吸收。底部管道用于收集沉积在回砂槽内的砂子。

作为优选，喷砂箱上设有窗口，窗口上安装窗门。窗口的设置便于硅环的装载，窗门起到了很好的防护作用。

作为优选，旋转台上表面上设有环形吸附槽，旋转台中间设有负压孔，负压孔下端贯通旋转台，旋转台内部负压孔上端和环形吸附槽之间设置通孔，旋转台下端负压孔位置转动连接负压管。旋转台转动过程中负压管抽气产生负压，从而使环形吸附槽内产生负压，对硅环进行吸附定位，防止硅环发生移动，定位方便可靠，不会对硅环造成损伤。

作为优选，喷砂箱内安装支座，旋转台转动安装在支座上，支座上安装电机，电机输出轴与旋转台传动连接。旋转台安装在支座上，安装可靠。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：（1）硅环喷砂机能有效去除加工中心加工后硅环表面的损伤和刀痕，得到稳定的表面粗糙度，以达到化学刻蚀的要求，降低了劳动强度，提高了工作效率；（2）硅环表面喷砂效果好。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的旋转台的连接结构示意图；