[实用新型]一种测定氯硅烷燃烧产物的装置

说明书

本实用新型公开了一种测定氯硅烷燃烧产物的装置，包括燃烧器、吸收器以及设于水浴槽内的瓶体，燃烧器为内设有燃烧木炭的管状结构，燃烧器的一端设第一气流进口和第二气流进口，第一气流进口与惰性气体通道和压缩气体通道连通，第二气流通道与瓶体连通，瓶体内盛装有氯硅烷液体；燃烧器的另一端设有与吸收器连通的出气管，吸收器内盛装有NaOH吸收液。本实用新型适用于实验室测定氯硅烷废气燃烧的产物，一方面，可提供对氯硅烷废液、废气的处理，生产的NaClO溶液可以回收利用作消毒剂使用，另一方面，可用于验证工艺过程中产生的氯硅烷废气燃烧后的具体产物，以便在生产中发生氯硅烷火灾时采取对应的处置措施。

技术领域

本实用新型属于尾气分析装置领域，是一种测定氯硅烷燃烧产物的装置。

背景技术

多晶硅生产企业在生产过程中不可避免地会排放出含氯硅烷污染物的废弃物，包括HSiCl₃、H₂SiCl₂和H₃SiCl等。同时，在氯硅烷样品检测过程中也会产生少量的液体氯硅烷废液。目前的处理方法通常采用喷淋塔喷淋去除大部分污染物后高空排放，然而对多晶硅企业而言，喷淋塔处理方式不仅对水处理要求高，还对现场污染严重，因此，不利于环境保护。我们知道，氯硅烷尾气燃烧可以生成二氧化硅、盐酸和氯气，如以下方程式所示：

HSiCl₃+O₂→SiO₂+HCl+Cl₂；

H₂SiCl₂+O₂→SiO₂+2HCl；

2H₃SiCl+2O₂→2SiO₂+2HCl+H₂O。

为进一步的了解氯硅烷尾气燃烧所得产物是否具有工业利用价值，我们需要通过实验来测定氯硅烷尾气燃烧的产物。现有情况是，氯硅烷尾气是一种易挥发且具有强烈刺激作用的污染物，在燃烧过程中，如果燃烧剧烈，极易发生闪爆，严重危害了实验人员的安全。因此，在实验过程中，如何合理实现氯硅烷尾气的燃烧，同时，又能保证实验人员安全尤其重要。

现有专利文献CN108261883A（含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，2018.07.10）公开了含有氯硅烷的硅烷尾气的处理方法，首先将硅烷尾气中的少量氯硅烷冷凝，分离得到硅烷气后再进行燃烧，由此可以知道，现有技术中并未涉及氯硅烷尾气燃烧的相关方法和装置可以参考。

实用新型内容

为弥补现有技术中燃烧处理废弃氯硅烷的空缺，本实用新型提供了一种测定氯硅烷燃烧产物的装置，适用于实验室测定氯硅烷废气燃烧的产物，一方面，可提供对氯硅烷废液、废气的处理，生产的NaClO 溶液可以回收利用作消毒剂使用，另一方面，可用于验证工艺过程中产生的氯硅烷废气燃烧后的具体产物，以便在生产中发生氯硅烷火灾时采取对应的处置措施。

本实用新型通过下述技术方案实现：一种测定氯硅烷燃烧产物的装置，包括燃烧器、吸收器以及设于水浴槽内的瓶体，燃烧器为内设有燃烧木炭的管状结构，燃烧器的一端设第一气流进口和第二气流进口，第一气流进口与惰性气体通道和压缩气体通道连通，第二气流通道与瓶体连通，瓶体内盛装有氯硅烷液体；燃烧器的另一端设有与吸收器连通的出气管，吸收器内盛装有NaOH吸收液。

还包括设于出气管上的冷凝器，冷凝器底部设氯硅烷收集瓶。

所述冷凝器为水循环冷凝管。

所述燃烧器为石英玻璃管。

所述瓶体为FEP塑料瓶。

所述吸收器为玻璃瓶，出气管的出口端插入NaOH吸收液内。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：