[实用新型]一种低辐射镀膜线用遮板装置

说明书

本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，具体是一种低辐射镀膜线用遮板装置，包括遮挡板和密封轴，所述遮挡板和所述密封轴的一端固定连接，所述密封轴的另一端设置有环套，所述密封轴上分别设置有第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈，所述第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈的外部包覆有密封套。本实用新型的有益效果是，通过设置的第一密封件、第二密封件、无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈和挡圈，可以有效阻挡外部空气进入磁控溅射镀膜的工作空间内，遮挡板可以实现360度转动，而不影响其密封性能，装置的整体结构较简单，而且组装安装都比较方便，成本低。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，特别是一种低辐射镀膜线用遮板装置。

背景技术

低辐射镀膜生产线一般采用溅射工艺来沉积镀膜，因为这种方法非常适合于大批量地生产优质薄膜膜层。溅射镀膜过程是将基片置于设有阴极和工艺气体的真空室体中来实现的，若在阴极上施加负电压，当真空室体内达到适当的环境会进行起辉辉光放电。这种辉光放电与氖光灯泡所产生的发光效果类似，人眼直视可能会对眼睛造成伤害，因此在每个阴极位的观察窗处都设置了可90°旋转的遮板装置。

由于磁控溅射镀膜的基础条件是获得真空环境，所以遮板装置必须达到密封的效果，目前低辐射镀膜生产线多使用磁流体来做密封件。磁流体密封装置是在旋转过程中形成磁场，并在磁场的作用下使磁流体充满环形空间，从而建立起一系列“O型密封圈”来达到密封效果。但遮板装置基本处于静止状态，而且其旋转角度也只有90°，因此磁流体在此装置中并不是十分适用，需要采用一种新型的机械式密封方式。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述问题，设计了一种低辐射镀膜线用遮板装置。

实现上述目的本实用新型的技术方案为，一种低辐射镀膜线用遮板装置，包括遮挡板和密封轴，所述遮挡板和所述密封轴的一端固定连接，所述密封轴的另一端设置有环套，所述密封轴上分别设置有第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈，所述第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈的外部包覆有密封套。

优选的，所述密封轴的两端设置有键槽，且两段键槽在同一轴线上，所述遮挡板和环套与所述密封轴的连接部位设置有键块，所述键块卡嵌在所述键槽内。

优选的，所述挡圈有两个，分别位于靠近所述密封轴的两端位置，所述轴套有两个，且分别与两个所述挡圈贴附。

优选的，所述第一密封件分别位于所述轴套和所述U型无骨架油封密封圈之间、所述U型无骨架油封密封圈和所述U型无骨架油封密封圈之间、所述U型无骨架油封密封圈和所述骨架油封密封圈之间，所述第二密封件位于所述骨架油封密封圈和所述轴套之间。

优选的，所述密封套的外部设置有定位环带O型圈和快卸卡箍，所述快卸卡箍位于所述密封套和所述定位环带O型圈之间。

优选的，所述环套上设置有细杆手柄，所述细杆手柄和所述键块固定连接。

优选的，所述轴套是一种圆柱环，其两边各设置有一个用于排气的通孔。

优选的，所述密封套的内径形状和尺寸根据所述第一密封件、所述第二密封件、所述轴套、所述U型无骨架油封密封圈、所述骨架油封密封圈和所述挡圈的形状和尺寸而定。

其有益效果在于，将遮挡板安装于腔体内侧的钢制管法兰内，通过设置的第一密封件、第二密封件、无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈和挡圈，可以有效阻挡外部空气进入磁控溅射镀膜的工作空间内，设置的定位环带O型圈和快卸卡箍将装置部件与腔体内的钢制管法兰紧固在一起，提高密封性能，拨动细杆手柄可以使密封轴和遮挡板转动，可以实现360度转动，而不影响其密封性能，装置的整体结构较简单，而且组装安装都比较方便，成本低。

附图说明