[实用新型]一种硅棒搬运机械手

说明书

本申请提供了一种硅棒搬运机械手，涉及机械装置设计技术领域。包括横向移动机构、夹爪机构、竖向驱动机构、调心机构和压紧旋转机构。夹爪机构的两个夹爪可实现相对运动，能够同时打开、同时夹紧，传动效率高；竖向驱动机构使夹爪机构实现单独上下升降运动，柔性高，能满足不同规格硅棒的搬运；调心机构可调整夹爪机构，使夹爪机构的对称中心与硅棒轴线及压紧旋转机构的轴线相重合，保证在能够夹紧硅棒的同时还能满足切方加工的需要；压紧旋转机构，用于压紧硅棒并进行旋转，由直径探测器获得硅棒的棱线位置数据，为下一道工序提供参数支持。因此，本申请传递效率高、节能环保、能够降低设备耗能成本。

技术领域

本申请涉及机械装置设计技术领域，尤其涉及一种硅棒搬运机械手。

背景技术

单晶硅是一种半导体材料，同时具有金属和非金属的某些物理性质，通过掺入特定的微量元素，可提高其导电性能，主要应用于太阳能电池，同时也是芯片、半导体制冷等行业的重要材料。人类的生存和发展离不开能源，传统的煤、石油、天然气、核能均为不可再生资源，且对环境有较大污染，或存在一定的环境风险，难以维持人类的长期发展。水力发电、风能、太阳能等均为理想的可再生清洁能源，由于沙漠、屋顶、社区、荒地等空间的广泛存在，以及硅太阳能技术的进步和环保的需求，硅太阳能行业这几年发展非常迅猛，各大厂商都在大规模扩产，这对单晶硅材料的加工技术又提出了新的要求。太阳能光伏发电的最基本元件-太阳能电池(片)，是光伏发电系统成本重要组成部分。

单晶硅棒加工成本是太阳能硅片生产成本的重要组成部分，硅片生产厂商近年来一直致力于先进产能的大规模扩产，降低单晶硅棒的加工成本，从而降低硅片的销售价格以获得竞争优势。自动化技术是降低单晶硅棒加工成本的重要手段，将去头尾、切断、切方、硅棒磨抛等工序实现自动化，并通过自动线将各个工序联接起来，实现工序间的材料自动输送。传统切方机自动化程度较低，无搬运机械手部件。卧式和立式切方机自动化话程度比较高，均需要将硅棒(圆硅棒及切方后的方硅棒)从上料车和自适应晶托之间转换，这就需要柔性比较高的搬运机械手来完成。

目前立式切方机均配有硅棒搬运机械手，从结构和功能上还存在如下缺点：第一，机械手柔性不足，机械手含有上下两对夹爪，上部一对夹爪可以独立上下升降，下部一对夹爪可以跟随上部夹爪上下升降，但不能独立升降。第二，一对夹爪的其中之一是由驱动源驱动，另外一只夹爪的动力是通过齿轮齿条传递过来，相当于两级齿轮齿条啮合传递动力，传动效率不高，动力源约百分之二十被消耗在中间传动环节，形成能源浪费。第三，无机械手夹爪调心结构。以其中一对夹爪说明，一对夹爪动作是同步运动的，同时向外侧打开或者同时向内侧收紧。如果出现偏心，即两侧夹爪关于中心不对称，虽然夹爪运动还是同步运动，但是在夹紧硅棒的过程中就会出现距离对称中心近的夹爪先接触到硅棒，另外一侧的夹爪后接触到硅棒，结果迫使硅棒的中心不在初始设定的对称中心线上，影响切方加工。这时需要将出现偏心的夹爪重新调整，使其左右夹爪关于中心线左右对称，即两侧夹爪到中心线的距离相等。

实用新型内容

本申请提供了一种硅棒搬运机械手，以解决现有技术中存在的机械手柔性不足、传动效率低、无法独立升降和无调心机构的问题。

本申请采用的技术方案如下：

一种硅棒搬运机械手，包括

基座，所述基座两侧设置有第一竖向轨道，所述第一竖向轨道滑动连接第一滑块和第二滑块，所述第一滑块、第二滑块固定连接横向移动机构；

夹爪机构，所述夹爪机构包括包括第一夹爪和第二夹爪，所述横向移动机构上设置有所述夹爪机构；