[实用新型]一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置有效
| 申请号： | 202021705279.0 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN213193100U | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 侯鹏;高嵩;韩江江;李文豪;李世海;杨荣博;阮方;田维峰 | 申请（专利权）人： | 大连华邦化学有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;C01B23/00 |
| 代理公司： | 大连至诚专利代理事务所(特殊普通合伙) 21242 | 代理人： | 杨威;刘丽媛 |
| 地址： | 116021 辽宁省大连市甘井子*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ppb 超高 纯度 氦气 纯化 装置 | ||
1.一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，其特征在于：包括进气管路(1)、第一换热器(5)、吸气反应器(6)、第二换热器(8)、脱氢罐(9)和出气管路(2)，所述进气管路(1)与所述第一换热器(5)的冷媒入口相连，所述第一换热器(5)的冷媒出口与所述吸气反应器(6)相连，所述吸气反应器(6)内设有吸气剂，所述吸气反应器(6)处设有用于加热吸气剂的加热元件(7)，所述吸气反应器(6)的出口与所述第一换热器(5)的热媒入口相连，所述第一换热器(5)的热媒出口与所述第二换热器(8)的热媒入口相连，所述第二换热器(8)的热媒出口与所述脱氢罐(9)相连，所述脱氢罐(9)与所述出气管路(2)相连。
2.根据权利要求1所述的一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，其特征在于：所述脱氢罐(9)内设有能吸附氢的吸气剂。
3.根据权利要求2所述的一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，其特征在于：所述脱氢罐(9)内设有锆钒铁吸气剂，所述脱氢罐(9)的工作温度为常温。
4.根据权利要求1所述的一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，其特征在于：所述吸气反应器(6)内设有锆钒铁吸气剂，所述加热元件(7)能使所述锆钒铁吸气剂的温度维持在400～450℃。
5.根据权利要求1所述的一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，其特征在于：还包括冷却水管路(4)，所述冷却水管路(4)与所述第二换热器(8)的冷媒流道相连，所述出气管路(2)上设有废气放空管路(3)。
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