[实用新型]一种半导体材料结晶炉有效

专利信息
申请号: 202021610603.0 申请日: 2020-08-06
公开(公告)号: CN213507293U 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 正芯半导体技术(深圳)有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;H01L21/02
代理公司: 广州德伟专利代理事务所(普通合伙) 44436 代理人: 黄浩威
地址: 518000 广东省深圳市福田区华强北街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体材料 结晶
【说明书】:

实用新型公开了一种半导体材料结晶炉,包括结晶炉主体、第一盖体、控制面板、分隔机构和防误触机构,所述第一盖体可安装在结晶炉主体的前侧左端,所述控制面板可设置在结晶炉主体的前侧右端,所述分隔机构可装配在结晶炉主体的一侧,所述防误触机构可装配在结晶炉主体的另一侧。该半导体材料结晶炉可通过分隔机构将多种材料分隔开来,通过防误触机构将控制面板遮盖起来,该装置具有防误触和分隔功能,既保证了材料加工的质量,又保证了材料加工的顺利完成,使用灵活,实用性强,满足现有市场上的使用需求。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体为一种半导体材料结晶炉。

背景技术

半导体材料是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间,电阻率约在1mΩ·cm~1GΩ·cm范围内),可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。

目前,现有的结晶炉结构简单、功能单一,其不具有防误触功能,以至于在结晶炉加工材料的过程中,工作人员很容易因操作失误而误触到控制按钮,进而导致炉内加工材料失败,并且,其炉内不具有分隔功能,以至于在一起加工多种材料时,炉内的材料很容易因相互接触而导致加工出来的质量降低,严重时会直接导致材料加工失败,给工作人员带来了许多的困扰与麻烦,因此,基于以上缺点,现推出一种半导体材料结晶炉对此来进行改善。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体材料结晶炉,可以解决上述背景技术中提出现有的结晶炉不具有防误触以及分隔功能的技术问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体材料结晶炉,包括

结晶炉主体;

第一盖体,可安装在所述结晶炉主体的前侧左端;

控制面板,可设置在所述结晶炉主体的前侧右端;

分隔机构,可装配在所述结晶炉主体的一侧;

防误触机构,可装配在所述结晶炉主体的另一侧。

优选的,所述分隔机构包括底板,所述底板安装在所述结晶炉主体的内腔底端,所述底板的顶端从左至右均开设有滑槽,所述结晶炉主体的右侧安装有箱体,所述箱体的前侧安装有第二盖体,所述箱体的内腔放置有可内嵌在滑槽内腔的隔板。

优选的,所述滑槽的数量为若干个,且每两个相邻滑槽的间距为5cm。

优选的,所述防误触机构包括连接板,所述连接板的数量为两个,且两个连接板分别安装在所述结晶炉主体的前侧左右两端,所述连接板的外侧开设有滑轨,所述滑轨的内腔内嵌有滑块的一端,所述滑块的另一端延伸出滑轨且安装有挡板。

优选的,所述挡板位于所述控制面板的前侧。

优选的,所述挡板的前侧底端设置有把手。

优选的,所述连接板的前侧顶端安装有第一永磁块,所述挡板的后侧底端安装有与第一永磁块相互吸引的第二永磁块。

本实用新型提出的一种半导体材料结晶炉,有益效果在于:

1、本实用新型通过箱体可放置保管隔板,在需要对多种半导体材料进行加工时,可将隔板从前至后插入进相对应滑槽的内腔,进而将结晶炉主体的内部分隔开来,有效地避免了多种半导体材料相接触加工而导致加工质量降低或加工失败的现象出现。

2、本实用新型在准备操控控制面板时,可将挡板向上移动且将控制面板展露出来,借由第一永磁块与第二永磁块之间相互的吸引力,进而将挡板的位置进行固定,在半导体材料加工过程中,向下移动挡板且其可将控制面板遮盖起来,从而有效地避免在加工过程中因操作失误而误触控制面板导致加工失败的现象发生。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

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