[实用新型]一种半导体材料结晶炉有效
| 申请号: | 202021610603.0 | 申请日: | 2020-08-06 |
| 公开(公告)号: | CN213507293U | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
| 发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 正芯半导体技术(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;H01L21/02 |
| 代理公司: | 广州德伟专利代理事务所(普通合伙) 44436 | 代理人: | 黄浩威 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市福田区华强北街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体材料 结晶 | ||
1.一种半导体材料结晶炉,其特征在于:包括
结晶炉主体(1);
第一盖体(2),可安装在所述结晶炉主体(1)的前侧左端;
控制面板(3),可设置在所述结晶炉主体(1)的前侧右端;
分隔机构(4),可装配在所述结晶炉主体(1)的一侧;
防误触机构(5),可装配在所述结晶炉主体(1)的另一侧。
2.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉,其特征在于:所述分隔机构(4)包括底板(41),所述底板(41)安装在所述结晶炉主体(1)的内腔底端,所述底板(41)的顶端从左至右均开设有滑槽(42),所述结晶炉主体(1)的右侧安装有箱体(43),所述箱体(43)的前侧安装有第二盖体(44),所述箱体(43)的内腔放置有可内嵌在滑槽(42)内腔的隔板(45)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体材料结晶炉,其特征在于:所述滑槽(42)的数量为若干个,且每两个相邻滑槽(42)的间距为5cm。
4.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉,其特征在于:所述防误触机构(5)包括连接板(51),所述连接板(51)的数量为两个,且两个连接板(51)分别安装在所述结晶炉主体(1)的前侧左右两端,所述连接板(51)的外侧开设有滑轨(52),所述滑轨(52)的内腔内嵌有滑块(53)的一端,所述滑块(53)的另一端延伸出滑轨(52)且安装有挡板(54)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体材料结晶炉,其特征在于:所述挡板(54)位于所述控制面板(3)的前侧。
6.根据权利要求4所述的一种半导体材料结晶炉,其特征在于:所述挡板(54)的前侧底端设置有把手(57)。
7.根据权利要求4所述的一种半导体材料结晶炉,其特征在于:所述连接板(51)的前侧顶端安装有第一永磁块(55),所述挡板(54)的后侧底端安装有与第一永磁块(55)相互吸引的第二永磁块(56)。
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