[实用新型]一种半导体设备TxZ Lid部品测漏治具有效
| 申请号: | 202021601913.6 | 申请日: | 2020-08-05 |
| 公开(公告)号: | CN213632541U | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
| 发明(设计)人: | 郝齐齐;张正伟 | 申请(专利权)人: | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 |
| 主分类号: | G01M3/02 | 分类号: | G01M3/02 |
| 代理公司: | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人: | 李坤 |
| 地址: | 244000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体设备 txz lid 部品测漏治具 | ||
【权利要求书】:
1.一种半导体设备TxZ Lid部品测漏治具,其特征是:包括测漏板面(1)和螺栓(3),所述测漏板面(1)上设有螺孔(2),所述螺孔(2)与螺栓(3)相适配。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备TxZ Lid部品测漏治具,其特征是:所述螺栓(3)前端为连接端,后端为手柄。
3.根据权利要求1所述的一种半导体设备TxZ Lid部品测漏治具,其特征是:所述测漏板面(1)为圆形。
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