[实用新型]一种流量可控光刻胶涂布装置

权利要求书

1.一种流量可控光刻胶涂布装置，包括排料泵(12)，其特征是：所述排料泵(12)通过输送管(11)连接有控流件(13)，输送管(11)一端与排料泵(12)的输出端连接，另一端与控流件(13)的输入端连接；所述控流件(13)包括两端开口设置的盒体(28)和位于盒体(28)内部的调节件(15)；所述盒体(28)两侧壁对称设有与调节件(15)插接的条形槽(16)；所述调节件(15)包括两插接件(17)，插接件(17)由两块三角形卡板(18)重合拼接构成，且两卡板(18)之间形成V形口结构，两个所述插接件(17)相互拼接，并将两个V形口结构封闭形成位于调节件(15)中部的排流孔(29)，排流孔(29)呈平行四边形；所述调节件(15)设有控制排流孔(29)大小的调节机构(19)，调节机构(19)位于盒体(28)内部。

2.根据权利要求1所述的一种流量可控光刻胶涂布装置，其特征是：所述调节机构(19)包括螺杆(21)和与螺杆(21)螺纹配合的两连接块(22)；两所述连接块(22)分别与两所述插接件(17)连接；所述螺杆(21)外壁对称设有第一螺纹段(23)和第二螺纹段(24)，第一螺纹段(23)和第二螺纹段(24)分别与两所述连接块(22)螺纹配合，且第一螺纹段(23)和第二螺纹段(24)的螺纹方向相反。

3.根据权利要求2所述的一种流量可控光刻胶涂布装置，其特征是：所述螺杆(21)突伸出盒体(28)的端部设有调节把(25)。

4.根据权利要求1所述的一种流量可控光刻胶涂布装置，其特征是：所述盒体(28)内壁对称设有与插接件(17)滑动连接的滑槽(26)。

5.根据权利要求1所述的一种流量可控光刻胶涂布装置，其特征是：所述条形槽(16)内壁、滑槽(26)内壁和插接件(17)外壁均设有密封层(27)。

6.根据权利要求1所述的一种流量可控光刻胶涂布装置，其特征是：所述排料泵(12)的输入端设有进料管(31)，所述控流件(13)的输出端设有出料管(32)，出料管(32)另一端部设有喷头(14)。