[实用新型]一种平面式激光诱导击穿光谱扫描仪

权利要求书

1.一种平面式激光诱导击穿光谱扫描仪，其特征在于：包括用于发射脉冲光束的激光发射器（1）、聚焦透镜（2）、反射光栅（3）、振镜（4）、陷波滤镜（5）、半透半反射振镜（6）、高速面阵CCD阵列（7）、光谱探头（8）以及样品台（9），所述激光发射器（1）发射出的脉冲光束通过所述聚焦透镜（2）聚焦后经过倾斜设置的反射光栅（3）和振镜（4）反射偏转汇聚于所述样品台（9）上的被测物体表面，被测物体表面的原子激发并发出光，激发出的光通过所述陷波滤镜（5）与倾斜设置的半透半反射振镜（6），部分光通过所述光谱探头（8）捕捉，另一部分成像到所述高速面阵CCD阵列（7）的感光面上。

2.根据权利要求1所述的一种平面式激光诱导击穿光谱扫描仪，其特征在于：所述反射光栅（3）呈倾斜设置，其上表面能够将经过所述聚焦透镜（2）聚焦后的脉冲光束反射至所述振镜（4）的下表面，所述振镜（4）呈倾斜设置能够将脉冲光束完全反射至样品台（9）上的被测物体表面。