[实用新型]边缘研磨设备

权利要求书

1.一种边缘研磨设备，其特征在于，包括多个用于进行边缘研磨的研磨垫，所述边缘研磨设备还包括支撑架、压力传感器和驱动件；

所述研磨垫设置于所述支撑架上，所述压力传感器设置于所述研磨垫和所述支撑架之间，所述压力传感器用于检测所述研磨垫与所述支撑架之间的压力，所述驱动件的输出端与所述支撑架固定连接，所述驱动件用于根据所述压力传感器检测的压力驱动所述支撑架移动。

2.如权利要求1所述的边缘研磨设备，其特征在于，还包括驱动电机，所述研磨垫具有第一端和第二端，所述研磨垫的第一端与所述支撑架转动连接，所述研磨垫的第二端与所述驱动电机的输出端传动连接，所述驱动电机用于驱动所述研磨垫绕自身的轴线转动。

3.如权利要求2所述的边缘研磨设备，其特征在于，所述支撑架上设置有轴承座，所述研磨垫的第一端通过所述轴承座与所述支撑架转动连接，所述压力传感器设置于所述轴承座上。

4.如权利要求1至3中任一项所述的边缘研磨设备，其特征在于，所述驱动件的输出端为输出轴，所述支撑架固定于所述输出轴的端部，所述驱动件用于驱动所述支撑架沿所述输出轴的轴向移动。

5.如权利要求4所述的边缘研磨设备，其特征在于，所述驱动件为气缸或油缸。

6.如权利要求4所述的边缘研磨设备，其特征在于，所述边缘研磨设备上还设置有多个位置标识，所述位置标识用于根据所述支撑架和/或所述输出轴的位置标识研磨垫的使用寿命周期。

7.如权利要求6所述的边缘研磨设备，其特征在于，所述多个位置标识包括至少一个用于标示研磨垫的使用寿命周期的起点的第一标识和至少一个用于标示研磨垫的使用寿命周期的终点的第二标识，所述第一标识位于所述第二标识远离所述支撑架的一侧。

8.如权利要求1所述的边缘研磨设备，其特征在于，还包括控制器，所述控制器分别与所述压力传感器和所述驱动件电连接，所述控制器用于根据所述压力传感器检测的压力控制所述驱动件带动所述支撑架移动。

9.如权利要求1所述的边缘研磨设备，其特征在于，还包括多个承载件，所述多个承载件位于同一纵向平面内，所述多个承载件用于承载待研磨晶圆，以使所述待研磨晶圆的中轴线横向设置，且使所述待研磨晶圆的边缘与所述研磨垫接触，所述多个承载件中的至少一个还用于驱动所述待研磨晶圆绕自身的中轴线旋转。

10.如权利要求1所述的边缘研磨设备，其特征在于，包括至少一个用于研磨待研磨晶圆侧边的第一研磨垫和至少两个分别用于研磨所述待研磨晶圆的两个斜边的第二研磨垫。