[实用新型]一种半导体遮覆板高度量测平台

说明书

本实用新型涉及遮覆板高度量测技术领域，具体地说，涉及半导体遮覆板高度量测平台，包括测量平台，测量平台上表面中心位置开设有凹槽，测量平台两侧中心位置对称设有立柱，每个立柱的侧面上均设有刻度值，两个立柱顶部通过横梁连接，横梁上表面中心安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的活动臂贯穿横梁，且末端上设有量测卡板，T型槽上方设有夹板，T型块左侧面上还设有弹簧，活动板下表面中心位置设有凸块；该半导体遮覆板高度量测平台，活动板上配合夹板，在弹簧作用下能够紧密夹固不同大小的半导体遮覆板，让测量更稳定，电动伸缩杆配合量测卡板在立柱上移动，指针对应刻度值，便于使用者快速读取量测半导体遮覆板高度值。

技术领域

本实用新型涉及遮覆板高度量测技术领域，具体为一种半导体遮覆板高度量测平台。

背景技术

在半导体制程中，首先利用一直流电源分别电性耦接至一背板及一遮覆板，通过该背板及该遮覆板于该反应室腔体内形成电场将离子枪束击向金属靶材，在离子枪束撞击靶材后，会将该靶材上的金属溅射在该基板、遮覆板上而形成该薄膜，因此必须对遮覆板进行洗净与再生，防止后续工作时该遮覆板上的金属镀膜破裂或剥落所产生之微尘粒子散布至基板而影响良率。现有的，在清洗半导体遮覆板时，部分操作容易使遮覆板高度不一致，影响到后续的使用，因此在清洗后，需要对遮覆板进行量测确认，一般的半导体遮覆板高度量测通过工作人员手动进行测量，半导体遮覆板位置不固定，容易在测量高度时偏移，有部分高度误差。因此，需要改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体遮覆板高度量测平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体遮覆板高度量测平台，包括测量平台，所述测量平台上表面中心位置开设有凹槽，所述测量平台两侧中心位置对称设有立柱，两个所述立柱相互对立的一侧开设有滑槽，每个所述立柱的侧面上均设有刻度值，两个所述立柱顶部通过横梁连接，所述横梁上表面中心安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的活动臂贯穿横梁，且末端上设有量测卡板，所述量测卡板两端均设有滑块，所述量测卡板侧面靠近底部边缘处对称设有指针，所述凹槽上方设有活动板，所述活动板上表面中心位置开设有T型槽，所述T型槽中心位置设有滑柱，所述T型槽上方设有夹板，所述夹板下表面与T型槽对应的位置还设有T型块，所述T型块中心位置开设有圆孔，所述滑柱穿过圆孔，所述T型块左侧面上还设有弹簧，所述滑柱从弹簧中穿过，所述活动板下表面中心位置设有凸块，所述凸块中心位置设有螺纹孔，所述凹槽中还设有螺纹杆，所述螺纹杆穿过螺纹孔，所述螺纹杆末端延伸出测量平台，且末端上设有摇把。

优选的，所述测量平台下表面靠近四个拐角处均设有支撑脚，所述支撑脚与测量平台通过螺栓固定连接。

优选的，所述立柱与测量平台为一体成型结构，所述横梁通过螺栓与立柱固定连接。

优选的，所述电动伸缩杆通过螺栓与横梁固定连接，所述电动伸缩杆上的活动臂与量测卡板为一体成型结构，所述滑块与量测卡板为一体成型结构，所述滑块的宽度与滑槽的宽度相适配，所述指针与量测卡板为一体成型结构。

优选的，所述螺纹杆一端上套设有轴承，轴承的内圈与螺纹杆粘接固定，轴承的外圈与测量平台粘接固定，所述摇把与螺纹杆为一体成型结构。

优选的，所述T型槽的宽度与T型块的宽度相适配，所述滑柱与活动板粘接固定，所述弹簧一端与T型块粘接固定，所述弹簧的另一端与T型槽内壁粘接固定，所述凸块与活动板为一成型结构，所述螺纹孔的孔径与螺纹杆的直径相适配。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型测量平台的凹槽中的活动板，在螺纹杆作用下，可以前后的移动，便于量测整个半导体遮覆板上的不同位置的高度，活动板上配合夹板，在弹簧作用下能够紧密夹固不同大小的半导体遮覆板，让测量高度更稳定，电动伸缩杆配合量测卡板在立柱上移动，指针对应刻度值，便于使用者快速读取量测半导体遮覆板高度值。