[实用新型]一种低温泵用冷凝吸附装置

说明书

本实用新型涉及低温泵技术领域，尤其是一种低温泵用冷凝吸附装置。它包括固定套设在低温泵冷头上的导热套筒，在导热套筒外侧依次套设内壳体、中壳体与外壳体，所述内壳体、中壳体与外壳体同轴心设置，导热套筒顶部卡接在中壳体内壁顶部中央，在导热套筒底部外侧壁上套设导热板，在导热板表面沿其圆周均匀设有若干个导气孔，导热板与内壳体底部内侧壁螺纹相连，所述外壳体底部与内壳体底部设有连接板。它结构设计合理，可长时间使用，使气体与冷伞片充分反应，提高整体的抽气效果，稳定性更高，防止气体冲击冷伞片造成的损伤，提高低温泵的使用寿命，解决了现有技术中存在的问题。

技术领域：

本实用新型涉及低温泵技术领域，尤其是一种低温泵用冷凝吸附装置。

背景技术：

低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果，是获得洁净真空的一种有效、快捷的方法，因此，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

低温泵通常由法兰、挡板、防辐射屏、冷伞、冷头和制冷机等部件组成，传统的冷伞为多层冷伞片组合而成，当低温泵在工作时，氮气、氧气、氩气等气体，进入低温泵内部，到达冷伞，在其表面被低温冷凝。但是这种冷伞，气体分子很难到达冷伞内部，因此冷伞表面冷凝的气体量受限。当冷伞表面冷凝的气体不断累积，低温泵对这些气体的抽气速度不断下降，而空间内的压力则不断上升。最终低温泵就会达到一个饱和状态，抽气效果达不到要求。因此，需要对低温泵进行再生，以恢复其原始抽气性能。再生就是通过各种升温手段，使低温泵内部冷凝或吸附的气体，排出泵外。低温泵的再生过程可能需要耗费多个小时，频繁的再生制约了低温泵的应用，需要增大低温泵的抽气容量。

如专利公开号为“CN208380781U”的实用新型专利，虽然可以解决快速再生的作用，但是这种类型的冷伞，稳定性较弱，气流高速进入后低温泵内，会不断冲击冷伞片，影响冷伞片的使用寿命；另外，低温泵容量有限，供气体与冷伞片反应的时间短，反应不充分，时间一长，势必影响抽气效果，无法长时间使用。

实用新型内容：

本实用新型提供了一种低温泵用冷凝吸附装置，它结构设计合理，可长时间使用，使气体与冷伞片充分反应，提高整体的抽气效果，稳定性更高，防止气体冲击冷伞片造成的损伤，提高低温泵的使用寿命，解决了现有技术中存在的问题。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种低温泵用冷凝吸附装置，包括固定套设在低温泵冷头上的导热套筒，在导热套筒外侧依次套设内壳体、中壳体与外壳体，所述内壳体、中壳体与外壳体同轴心设置，导热套筒顶部卡接在中壳体内壁顶部中央，在导热套筒底部外侧壁上套设导热板，在导热板表面沿其圆周均匀设有若干个导气孔，导热板与内壳体底部内侧壁螺纹相连，所述外壳体底部与内壳体底部设有连接板，在外壳体与中壳体之间设有若干个一级冷伞片，在中壳体与内壳体之间设有若干个二级冷伞片，在内壳体与导热套筒之间设有若干个三级冷伞片。

优选的，所述各一级冷伞片均固连在外壳体内侧壁与中壳体外侧壁上，且各一级冷伞片倾斜设置，呈旋涡状。

优选的，所述各二级冷伞片成排设置，分别沿中壳体内侧壁高度方向设置，且每排的各二级冷伞片分别沿中壳体圆周方向均匀设置，各二级冷伞片均固连在中壳体内侧壁与内壳体外侧壁上。

优选的，所述各排二级冷伞片交错设置。

优选的，所述三级冷伞片均竖直设置，且各三级冷伞片均固连在内壳体内侧壁与导热套筒外侧壁上。

优选的，在连接板与外壳体、中壳体相连之处设有倒角，在与导热套筒相连的中壳体内壁上设有环状凸缘。

优选的，所述导热套筒螺纹连接在中壳体内壁的环状凸缘上。