[实用新型]一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉，其特征在于，包括：

炉体；

两个支撑杆，两个所述支撑杆均设于所述炉体内；

两个安装板，两个所述安装板固定安装在两个支撑杆的顶端和底端；

两个螺纹杆，两个所述螺纹杆均转动安装在两个所述安装板上；

四个滑块，四个滑块分别滑动安装在两个所述支撑杆上；

四个螺纹块，四个所述螺纹块分别螺纹安装在两个所述螺纹杆上；

四个连接杆，四个所述连接杆分别固定安装在四个所述螺纹块的一侧；

四个挤压块，四个所述挤压块分别固定安装在四个所述连接杆上；

两个把手，两个把手分别固定安装在两个所述螺纹杆的顶端；

两个固定杆，两个所述固定杆固定安装在靠近所述把手的所述安装板的顶部；

拉环，所述拉环固定安装在两个固定杆的顶端；

四个支脚，四个支脚均固定安装在远离所述把手的所述安装板的底部；

顶盖，所述顶盖铰接在所述炉体的顶部；

输气管，所述输气管固定安装在所述炉体的底部。

2.根据权利要求1所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉，其特征在于，所述螺纹块与相应的所述滑块固定连接。

3.根据权利要求1所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉，其特征在于，两个所述安装板上均开设有大圆孔。

4.根据权利要求1所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉，其特征在于，两个所述安装板上分别开设有转动槽和转动孔，两个所述螺纹杆分别与相应的所述转动槽和转动孔转动连接。

5.根据权利要求1所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉，其特征在于，所述炉体的底部开设有安装孔，所述输气管与所述安装孔密封固定连接。

6.根据权利要求5所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉，其特征在于，四个所述支脚放置于所述炉体的底部内壁上，所述拉环与所述顶盖的底部相接触。

7.根据权利要求1所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉，其特征在于，所述炉体内还包括有圆柱块、两个安装管和两个弯嘴喷头，所述圆柱块固定安祖在所述输气管的顶端，两个所述安装管分别固定安装在圆柱块的两侧，两个弯嘴喷头分别固定安装在两个安装管相互远离的一端，两个弯嘴喷头的喷射方向相反。

8.根据权利要求7所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉，其特征在于，所述圆柱块的底部开设有凹槽，所述凹槽内固定安装有密封轴承，所述密封轴承的内圈固定套设在所述输气管上，所述凹槽的两侧内壁上均开设有通气孔，两个所述通气孔分别与两个所述安装管相连通，两个所述安装管和所述圆柱块的顶部均开设有多个输气孔。