[实用新型]一种真空镀膜均气管

权利要求书

1.一种真空镀膜均气管，包括均气管，其特征在于，所述均气管包括自内而外依次套设的多层气管，所述气管的侧壁上设有气孔，相邻两层所述气管中，内层所述气管的气孔数量小于外层所述气管的气孔数量，相邻两层所述气管之间形成环形腔体，所述环形腔体被分隔为位于其轴向不同位置的多个等容管室，所述管室与其内侧气管的气孔一一对应连通，所述管室与其外侧气管的气孔一对多的连通。

2.如权利要求1所述的真空镀膜均气管，其特征在于，相邻两层所述气管中，内层所述气管的气孔朝向与外层所述气管的气孔朝向相背。

3.如权利要求1所述的真空镀膜均气管，其特征在于，相邻两层所述气管中，内层所述气管的气孔数量与外层所述气管的气孔数量的比值为1:2。

4.如权利要求1所述的真空镀膜均气管，其特征在于，所述均气管包括4层所述气管。

5.如权利要求1所述的真空镀膜均气管，其特征在于，所述环形腔体被可拆卸设置的第一密封圈密封隔离为多个所述管室。

6.如权利要求1所述的真空镀膜均气管，其特征在于，最内层所述气管的首端敞开设置，最内层所述气管的末端封闭设置。

7.如权利要求6所述的真空镀膜均气管，其特征在于，最内层所述气管的末端设有封口端壁。

8.如权利要求1所述的真空镀膜均气管，其特征在于，还包括首端法兰组件，所述首端法兰组件包括法兰A和法兰B，所述法兰A相对固定的套设在最内层所述气管的首端外侧，所述法兰B相对固定的设于最外层所述气管的首端，所述法兰A和所述法兰B通过螺栓相对固定。

9.如权利要求8所述的真空镀膜均气管，其特征在于，所述首端法兰组件还连接于真空镀膜机的侧壁上，二者之间设有第二密封圈。

10.如权利要求1所述的真空镀膜均气管，其特征在于，还包括末端法兰组件，所述末端法兰组件包括法兰C和法兰D，所述法兰C相对固定的设于最外层所述气管的末端，所述法兰D设于所述多层气管的末端，所述法兰C和所述法兰D通过螺栓可拆卸式连接，最内层所述气管的末端抵靠在所述法兰D上，其余所述气管的末端伸入所述法兰D的环形凹槽内。