[实用新型]一种硅片快速脱胶装置

权利要求书

1.一种硅片快速脱胶装置，包括固定在地面上的底座，配合底座设置的主框架，其特征在于，所述主框架配合设置在底座的上面，所述主框架的四周配合设置有可拆卸式挡板；

所述主框架的前面位于底座上设置有进口，主框架的后面位于底座上设置有出口，主框架的下面并位于进口和出口之前配合安装有硅片脱胶装置；

所述进口处设置有进料输送装置，所述出口处设置有出料输送装置；

所述主框架的内部并位于两侧的内壁上配合设置有输送轨道，输送轨道上配合设置有吊装组件；所述吊装组件通过输送轨道进行前后移动。

2.根据权利要求1所述的一种硅片快速脱胶装置，其特征在于：所述硅片脱胶装置包括若干组硅片脱胶池，配合硅片脱胶池设置的电动闸门，设置在硅片脱胶池底部的出水口，出水口设置有若干组并汇集在一起与污水处理系统连接，所述硅片脱胶池内设置有喷淋系统和烘干系统，喷淋系统分别安装在硅片脱胶池的内壁及底部；所述硅片脱胶池自进口处到出口处依次排开设置。

3.根据权利要求2所述的一种硅片快速脱胶装置，其特征在于：所述硅片脱胶池呈四边形设置，硅片脱胶池的底部设置有放置架，所述放置架配合吊装组件设置；所述硅片脱胶池位于输送轨道的下方并配合吊装组件设置。

4.根据权利要求1所述的一种硅片快速脱胶装置，其特征在于：所述输送轨道包括上侧定位齿条和下侧滚动导轨，上侧定位齿条和下侧滚动导轨之间间隔一段距离设置，所述上侧定位齿条和下侧滚动导轨之间平行设置。

5.根据权利要求1所述的一种硅片快速脱胶装置，其特征在于：所述吊装组件包括配合上侧定位齿条设置的滚动齿轮组件，配合下侧滚动导轨设置的滚轮组件，设置在滚轮组件之间的支撑板，垂直于支撑板设置的上下移动组件，设置在上下移动组件底部的吊钩组件，放置在吊钩组件上的吊笼；所述滚动齿轮组件通过前后驱动组件驱动，所述上下移动组件通过上下驱动组件驱动。

6.根据权利要求5所述的一种硅片快速脱胶装置，其特征在于：所述吊笼配合硅片脱胶池也呈四边形设置，所述吊笼的四周设置有栏杆，所述吊笼上面四个角的位置设置有圆柱，所述吊钩组件通过吊装圆柱进而吊起吊笼。

7.根据权利要求5所述的一种硅片快速脱胶装置，其特征在于：所述上下移动组件包括的左侧组件和右侧组件，左侧组件和右侧组件的中间设置有上下驱动组件，所述左侧组件和右侧组件分别为齿轮齿条组件。

8.根据权利要求5或6所述的一种硅片快速脱胶装置，其特征在于：所述吊钩组件包括分别与左侧组件和右侧组件连接的连接框架，设置在连接框架四个角落位置的吊钩，所述吊钩为可伸缩式吊钩，所述吊钩配合圆柱设置。

9.根据权利要求2所述的一种硅片快速脱胶装置，其特征在于：

所述硅片脱胶池最多设置有五组。