[实用新型]一种平面溅射靶材

说明书

本实用新型属于溅射镀膜技术领域，尤其为一种平面溅射靶材，包括主板、固定孔和滑道，所述主板的下方固定有延伸板，所述固定孔的上方安置有限位块，所述滑道的内部固定有限位块，所述安装板的内部安置有固定机构，所述主板的后方固定有背板，且背板的表面设置有水槽。该平面溅射靶材，背板中设置了水槽，主要用于使用时进行水循环降温，溅射镀膜过程中，靶材处于高温环境中，为了对所述靶材进行降温，通常采用持续的高压冷却水冲击，背板，高压冷却水在靶材与背板间造成较大的压力差，因此要求靶材与背板具有较强的焊接牢固度，本专利背板设置水循环装置，避免了高压冷却水冲击背板造成的损害，提升了靶材的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及平面溅射镀膜技术领域，具体为一种平面溅射靶材。

背景技术

平面溅射镀膜属于物理气相沉积方法制备薄膜的工艺之一，具体是指利用高能粒子轰击靶材表面，使得靶材原子或分子获得足够的能量逸出，并沉积在基材或工件表面，从而形成薄膜，平面溅射镀膜中溅射靶材是不可或缺的工具。

现在传统的溅射靶材不便于进行安装固定，安装固定时需要耗费较多的时间和精力，使用不便利，使用时会占用额外的空间，稳定性较差，且使用时通常采用持续的高压冷却水冲击背板，高压冷却水在靶材与背板间造成较大的压力差，导致背板容易损坏，使用寿命短的缺点，需要便于进行安装固定，安装固定时不需要耗费较多的时间和精力，使用便利，使用时不会占用额外的空间，稳定性好，且背板不易损坏，使用寿命长的新型溅射靶材。

针对上述问题，急需在原有溅射靶材的基础上进行创新设计。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种平面溅射靶材，以解决上述背景技术中提出的同类产品不便于进行安装固定，安装固定时需要耗费较多的时间和精力，使用不便利，使用时会占用额外的空间，稳定性较差，且使用时通常采用持续的高压冷却水冲击背板，高压冷却水在靶材与背板间造成较大的压力差，导致背板容易损坏，使用寿命短的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平面溅射靶材，包括主板、固定孔和滑道，所述主板的下方固定有延伸板，且延伸板的下方连接有安装板，所述固定孔的上方安置有限位块，且固定孔位于安装板的外部表面，所述滑道的内部固定有限位块，且滑道位于安装板的内部，所述安装板的内部安置有固定机构，所述主板的后方固定有背板，且背板的表面设置有水槽。

优选的，所述主板与延伸板之间为冲压成型，且主板的背部表面与背板的前端表面之间为焊接。

优选的，所述安装板通过限位块与滑道之间的配合与延伸板构成滑动伸缩结构，且安装板之间沿延伸板的水平线等距分布，并且安装板之间关于主板的水平中心线相对称。

优选的，所述固定机构包括卡块、复位弹簧、凹槽和定位槽，且卡块的右侧连接有复位弹簧，所述复位弹簧的外部设置有凹槽，所述滑道的内部安置有定位槽。

优选的，所述卡块与定位槽之间的尺寸相吻合，且卡块通过复位弹簧与凹槽之间构成弹性按压结构，并且安装板通过卡块和定位槽之间的配合与滑道活动连接。

优选的，所述背板与水槽之间为冲压成型，且水槽呈曲形结构分布于背板的内部，并且背板与主板之间的水平中心线相重合，而且背板的面积大于主板的面积。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该平面溅射靶材便于进行安装固定，安装固定时不需要耗费较多的时间和精力，使用便利，使用时不会占用额外的空间，稳定性好，且背板不易损坏，使用寿命长；