[实用新型]一种平面溅射靶材有效
| 申请号： | 202020717939.0 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN211972432U | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 杨小岗 | 申请（专利权）人： | 陕西欧凯利靶材股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 西安知诚思迈知识产权代理事务所(普通合伙) 61237 | 代理人： | 麦春明 |
| 地址： | 721006 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平面 溅射 | ||
1.一种平面溅射靶材，包括主板（1）、固定孔（4）和滑道（5），其特征在于：所述主板（1）的下方固定有延伸板（2），且延伸板（2）的下方连接有安装板（3），所述固定孔（4）的上方安置有限位块（6），且固定孔（4）位于安装板（3）的外部表面，所述滑道（5）的内部固定有限位块（6），且滑道（5）位于安装板（3）的内部，所述安装板（3）的内部安置有固定机构（7），所述主板（1）的后方固定有背板（8），且背板（8）的表面设置有水槽（9）。
2.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材，其特征在于：所述主板（1）与延伸板（2）之间为冲压成型，且主板（1）的背部表面与背板（8）的前端表面之间为焊接。
3.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材，其特征在于：所述安装板（3）通过限位块（6）与滑道（5）之间的配合与延伸板（2）构成滑动伸缩结构，且安装板（3）之间沿延伸板（2）的水平线等距分布，并且安装板（3）之间关于主板（1）的水平中心线相对称。
4.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材，其特征在于：所述固定机构（7）包括卡块（701）、复位弹簧（702）、凹槽（703）和定位槽（704），且卡块（701）的右侧连接有复位弹簧（702），所述复位弹簧（702）的外部设置有凹槽（703），所述滑道（5）的内部安置有定位槽（704）。
5.根据权利要求4所述的一种平面溅射靶材，其特征在于：所述卡块（701）与定位槽（704）之间的尺寸相吻合，且卡块（701）通过复位弹簧（702）与凹槽（703）之间构成弹性按压结构，并且安装板（3）通过卡块（701）和定位槽（704）之间的配合与滑道（5）活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材，其特征在于：所述背板（8）与水槽（9）之间为冲压成型，且水槽（9）呈曲形结构分布于背板（8）的内部，并且背板（8）与主板（1）之间的水平中心线相重合，而且背板（8）的面积大于主板（1）的面积。
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