[实用新型]一种光刻胶生产用原料取样装置

说明书

本实用新型涉及光刻胶生产技术领域,尤其涉及一种光刻胶生产用原料取样装置,包括输送管道，输送管道的一端设计为取料管头、另一端设计为出料管头，输送管道的管路上设置有氮气真空发生器，所述输送管道由入料管道和出料管道组成，入料管道的端口与出料管道的端口之间通过节流调节箱保持连通，所述节流调节箱的内部设置有可转动的阀板，阀板为圆形板，阀板的板面上开设出通孔，通过阀板调节原料抽取量，本实用新型解决了光刻胶取料量无法实时调整，会影响到光刻胶产品的生产质量的问题，通过本取样装置的应用，工作人员可以根据实际需要来调整原料的抽取量，且调整过程简单可靠，保证了光刻胶产品的品质，对生产工艺起到了明显的优化作用。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶生产技术领域，尤其涉及一种光刻胶生产用原料取样装置。

背景技术

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。光刻胶生产时采用的取料设备较为简单，仅仅是通过真空泵作为工具吸取原材料，在实际加工过程中，光刻胶原材料的吸取量无法调整，可能会造成材料浪费或者用量不足的情况，最终影响光刻胶的生产品质。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的光刻胶取料量无法实时调整，会影响到光刻胶产品的生产质量的缺点，而提出的一种光刻胶生产用原料取样装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种光刻胶生产用原料取样装置，包括输送管道，输送管道的一端设计为取料管头、另一端设计为出料管头，输送管道的管路上设置有氮气真空发生器，所述输送管道由入料管道和出料管道组成，入料管道的端口与出料管道的端口之间通过节流调节箱保持连通，所述节流调节箱的内部设置有可转动的阀板，阀板为圆形板，阀板的板面上开设出通孔，通过阀板调节原料抽取量。

优选的，所述取料管头位于入料管道的端部，出料管头位于出料管道的端部。

优选的，所述节流调节箱的内部开设出贯通的通道，入料管道的端部与出料管道的端部分别从通道的两侧插入节流调节箱内。

优选的，所述节流调节箱内部开设的通道与阀板上的通孔的位置相对应。

优选的，所述入料管道的端口与出料管道的端口分别与阀板上的通孔的位置相对应。

优选的，所述节流调节箱的一侧设置有调节座，调节座的内部设置有直齿圆锥齿轮组合，直齿圆锥齿轮组合内引出竖向的转轴和横向的连接轴。

优选的，所述转轴贯穿调节座的底壁并向下延伸，转轴的底端设置有调节柄，连接轴贯穿调节座的侧壁并插入节流调节箱内，连接轴远离调节座的端部通过轴承部件与所述阀板的中心呈同心固定连接。

本实用新型的有益效果是：通过本方案提出的取样装置，解决了光刻胶取料量无法实时调整，会影响到光刻胶产品的生产质量的问题，通过本取样装置的应用，工作人员可以根据实际需要来调整原料的抽取量，且调整过程相对简单可靠，保证了光刻胶产品的品质，对生产工艺起到了明显的优化作用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种光刻胶生产用原料取样装置的主视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种光刻胶生产用原料取样装置的节流调节箱结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种光刻胶生产用原料取样装置的阀板结构示意图。

图中：1输送管道、1a入料管道、1b出料管道、2氮气真空发生器、3取料管头、4出料管头、5节流调节箱、6阀板、61通孔、7连接轴、8调节座、9调节柄、10转轴、11直齿圆锥齿轮组合。

具体实施方式