[实用新型]新型石英承载装置有效

专利信息
申请号: 202020658116.5 申请日: 2020-04-26
公开(公告)号: CN211828725U 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 李光华 申请(专利权)人: 沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 110000 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 新型 石英 承载 装置
【权利要求书】:

1.一种新型石英承载装置,用于承载圆晶片,其特征在于,所述新型石英承载装置包括:

第一支撑板;

第二支撑板,所述第二支撑板平行相对于所述第一支撑板设置;

第一支撑轴,至少一个所述第一支撑轴的两端分别与所述第一支撑板和所述第二支撑板的底部相连接;

第二支撑轴,至少一个所述第二支撑轴的两端分别与所述第一支撑板和所述第二支撑板的中部相连接,且所述第二支撑轴与所述第一支撑轴平行设置;

第一定位槽,至少两个所述第一定位槽均匀设置在至少一个所述第一支撑轴上,相邻两个所述第一定位槽之间存在间隔,且至少部分所述圆晶片嵌于所述第一定位槽内;

第二定位槽,至少两个所述第二定位槽均匀设置在至少一个所述第二支撑轴上,相邻两个所述第二定位槽之间存在间隔,且至少部分所述圆晶片嵌于所述第二定位槽内;

支撑架,所述支撑架与所述第一支撑板呈预定角度,至少一个所述支撑架同时与所述第一支撑轴和所述第二支撑轴相连接;

其中,所述第二定位槽与所述第一定位槽呈预定角度。

2.根据权利要求1所述的新型石英承载装置,其特征在于,所述新型石英承载装置还包括:

第一支撑脚,两个所述第一支撑脚同时与所述第一支撑板相连接;

第二支撑脚,两个所述第二支撑脚同时与所述第二支撑板相连接。

3.根据权利要求1所述的新型石英承载装置,其特征在于,所述新型石英承载装置还包括:

所述支撑架与所述第一支撑板所呈角度为3度。

4.根据权利要求1所述的新型石英承载装置,其特征在于:

所述第二定位槽与所述第一定位槽所呈角度为3度。

5.根据权利要求3所述的新型石英承载装置,其特征在于,所述第一定位槽还包括:

第一定位槽本体,所述第一定位槽本体开设在所述第一支撑轴的顶部;

第一导向槽,所述第一导向槽与所述第一定位槽本体相连通,且所述第一导向槽的横截面积由第一定位槽本体向第一支撑轴侧壁逐渐增大。

6.根据权利要求4所述的新型石英承载装置,其特征在于,所述第一定位槽还包括:

第二定位槽本体,所述第二定位槽本体开设在所述第二支撑轴的顶部;

第二导向槽,所述第二导向槽与所述第二定位槽本体相连通,且所述第二导向槽的横截面积由第二定位槽本体向第二支撑轴侧壁逐渐增大。

7.根据权利要求1所述的新型石英承载装置,其特征在于,所述新型石英承载装置还包括:

第一定位销,至少一个所述第一定位销背离所述第一支撑轴设置在所述第一支撑板的侧壁上;

第二定位销,至少一个所述第二定位销对称于所述第一定位销设置在所述第二支撑板的侧壁上。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的新型石英承载装置,其特征在于:

所述第一支撑板为石英体;

所述第二支撑板为石英体;

所述第一支撑轴为石英体;

所述第二支撑轴为石英体;

所述支撑架为石英体。

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