[实用新型]一种掩膜版多功能承载架有效
| 申请号: | 202020590799.5 | 申请日: | 2020-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN212112122U | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
| 发明(设计)人: | 李真明;黎增祺;周涛 | 申请(专利权)人: | 南通美精微电子有限公司 |
| 主分类号: | G03F1/82 | 分类号: | G03F1/82;G03F1/00 |
| 代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董成 |
| 地址: | 226001 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 掩膜版 多功能 承载 | ||
1.一种掩膜版多功能承载架,包括承载架(1),其特征在于:所述承载架(1)的顶部设置有夹持机构,所述承载架(1)的内部设置有第一传动机构;
所述夹持机构包括两个支撑板(2),其中一个所述支撑板(2)固定安装在承载架(1)一侧的顶部,另一个所述支撑板(2)滑动安装在承载架(1)靠近另一侧的顶部,两个所述支撑板(2)相对面的顶部外壁滑动连接有支杆(3),所述支杆(3)远离支撑板(2)的一端固定连接有三角固定夹(4),所述支杆(3)与支撑板(2)顶部的腔内设置有第二传动机构;
所述三角固定夹(4)包括固定夹(5),所述固定夹(5)的顶部固定安装有气缸(6),所述气缸(6)输出轴穿入固定夹(5)内部的一端固定安装有夹块(7),所述夹块(7)的底部固定安装上软垫(8),所述固定夹(5)腔内的底部固定安装有下软垫(9);
所述第二传动机构包括双向螺纹杆(10),所述双向螺纹杆(10)转动安装在支撑板(2)顶部的腔内,所述支杆(3)螺纹连接在双向螺纹杆(10)的外壁,所述支撑板(2)前面的外壁固定安装有支撑座(11),所述支撑座(11)的顶部固定安装有第一减速电机(12),所述双向螺纹杆(10)穿出支撑板(2)外壁的一端与第一减速电机(12)的输出轴固定连接;
所述第一传动机构包括两个轴承座(13),两个所述轴承座(13)固定安装在承载架(1)腔内的底部,两个所述轴承座(13)的轴心转动连接有螺杆(14),另一个所述支撑板(2)的底部固定安装有螺纹块(15),所述螺纹块(15)螺纹连接在螺杆(14)的外壁,所述承载架(1)远离两个所述轴承座(13)的底部固定安装有电机固定座(16),所述电机固定座(16)的顶部固定安装有第二减速电机(17),所述螺杆(14)穿出其中一个轴承座(13)的一端与第二减速电机(17)的输出轴之间固定连接有联轴器(18)。
2.根据权利要求1所述的掩膜版多功能承载架,其特征在于:所述螺杆(14)前后两侧的承载架(1)底部固定安装有第一滑动机构,所述第一滑动机构包括两个固定座(19),两个所述固定座(19)的轴心固定安装有滑杆(20),所述滑杆(20)与螺纹块(15)远离螺杆(14)的底部滑动连接。
3.根据权利要求1所述的掩膜版多功能承载架,其特征在于:所述承载架(1)的顶部设置有外壳(21)和吹风机构,所述吹风机构包括至少两个吹风机(22)和两个吸气机(23),其中一个吹风机(22)固定安装在靠近第二减速电机(17)的承载架(1)顶部,另一个所述吹风机(22)固定安装在靠近第二减速电机(17)一侧的外壳(21)内壁,其中一个所述吸气机(23)固定安装在远离吹风机(22)的支撑板(2)内侧,另一个所述吸气机(23)固定安装在远离吹风机(22)的外壳(21)内壁。
4.根据权利要求3所述的掩膜版多功能承载架,其特征在于:所述外壳(21)靠近吹风机(22)一侧的外壁开设有若干进气孔(24),所述外壳(21)靠近吸气机(23)一侧的外壁开设有若干出气孔(25)。
5.根据权利要求1所述的掩膜版多功能承载架,其特征在于:所述支杆(3)与支撑板(2)顶部腔内的内壁之间设置有第二滑动机构,所述第二滑动机构包括T型条(26)和凹型槽(27),所述T型条(26)固定安装在支撑板(2)顶部腔内的内壁,所述凹型槽(27)开设在支杆(3)靠近T型条(26)一端的外壁,所述T型条(26)的外壁与凹型槽(27)的内壁滑动连接。
6.根据权利要求5所述的掩膜版多功能承载架,其特征在于:所述T型条(26)与凹型槽(27)的接触点设置有滚珠(28)。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
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