[实用新型]一种真空镀膜机用基片翻转结构

权利要求书

1.一种真空镀膜机用基片翻转结构，包括用于进行镀膜工作的主体（1）、用于承载基片的活动式承载结构、用于对活动式承载结构进行辅助翻转工作的翻转组件以及用于对基片进行限位固定的抵接固定结构，其特征在于：所述主体（1）的内部设置有镀膜空腔，所述活动式承载结构包括承载板（2），所述承载板（2）的上表面设置有多个贯穿其上下端的放置槽（3），且所述放置槽（3）呈倒转的凸字型，所述承载板（2）的两侧分别通过连接件与主体（1）的内部两侧活动连接，且所述承载板（2）的一端连接贯穿延伸至主体（1）的外部，所述翻转组件安装于主体（1）的外部一侧，且所述翻转组件的输出端与承载板（2）贯穿延伸至主体（1）外部的一侧固定连接，所述抵接固定结构安装于承载板（2）的上端表面，且所述抵接固定结构靠近于放置槽（3）。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用基片翻转结构，其特征在于：所述翻转组件包括安装板和电机（4），所述安装板垂直固定安装于主体（1）的外部一侧，所述电机（4）固定安装于安装板的上端表面，且所述电机（4）的输出端与承载板（2）贯穿延伸至主体（1）外部的一侧固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用基片翻转结构，其特征在于：所述抵接固定结构包括安装座（5）、固定板（6）、移动板（7）以及紧固旋钮（8），所述安装座（5）垂直固定安装于承载板（2）的上端表面，所述固定板（6）垂直固定安装与安装座（5）远离于放置槽（3）的一侧，所述移动板（7）的顶部通过多个伸缩连接杆A（9）与固定板（6）的底部固定连接，所述紧固旋钮（8）的一端通过螺纹连接贯穿安装座（5）的上表面，且所述紧固旋钮（8）贯穿安装座（5）的一端通过轴承与移动板（7）的顶部活动连接，所述安装座（5）的一侧竖直开设有多个贯穿其前后两侧的移动槽（10），所述移动板（7）靠近于安装座（5）的一侧设置有多个第一压板（11），多个所述第一压板（11）分别贯穿多个移动槽（10）延伸至安装座（5）靠近于放置槽（3）的一侧，多个所述第一压板（11）两两一组分别位于多个放置槽（3）上方靠近其左右两侧处，多个所述第一压板（11）的底部均安装有减震限位固定组件。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机用基片翻转结构，其特征在于：所述减震限位固定组件包括减震弹簧（12）和第二压板（13），所述减震弹簧（12）的顶部与第一压板（11）的底部固定连接，所述第二压板（13）的顶部与减震弹簧（12）的底部固定连接，且所述第二压板（13）的纵向长度与放置槽（3）的内部纵向长度相匹配。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机用基片翻转结构，其特征在于：所述减震弹簧（12）的内部设置有伸缩连接杆B（14）。

6.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机用基片翻转结构，其特征在于：所述第二压板（13）的下端表面贴合设置有采用耐高温材料制成的防滑垫层（15）。