[实用新型]MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表

说明书

本实用新型实施例公开了一种MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表，该MEMS气体流量检测芯片包括：基底；流量传感器以及至少一个环境参数传感器集成在所述基底的正面。本实用新型实施例提供的技术方案，实现了通过单颗芯片完成流量以及多种环境参数的测量。

技术领域

本实用新型实施例涉及气体检测技术领域，尤其涉及一种MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表。

背景技术

随着物联网通讯技术的飞速发展，气体的测量和监控进入一个新的发展阶段。流量仪表正趋向于自动化、智能化、远程化和集成化。流量检测芯片是实现智能燃气流量仪表的核心部件。

目前市面上的气体流量仪表的功能过于单一，大部分仪表只有气体流量测量功能，而且一般都采用机械式流量测量组件，因而很难实现多功能、高附加值的智能化流量测量和监控。近年来可燃性气体以及有毒气体爆燃事故频发，用户对安全方面的要求越来越高，安监部门对可燃气体以及有毒气体的安全使用和管理也愈加重视。

但如果用户需要实现气体环境参数比如：管道气压、气体温度、气体湿度等实时监控，需要在流量仪表上加装各种探测仪表或将多种分离的传感器贴在同一或不同基板上。这种方式不仅成本高、体积大、功耗高，而且多种器件之间的干扰会影响仪表的测量精度和可靠性。因此，亟需一种实现气体环境参数实时监控的MEMS气体流量检测芯片。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供了MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表以解决现有技术中MEMS气体流量检测芯片不能实现气体环境参数实时监控的技术问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种MEMS气体流量检测芯片，包括：

基底；

流量传感器以及至少一个环境参数传感器集成在所述基底的正面。

可选地，所述基底包括硅基材料或者玻璃基材料。

可选地，至少一个所述环境参数传感器包括第一温度传感器、压力传感器、湿度传感器、气体浓度传感器以及加速度传感器中的一个或多个。

可选地，所述基底的正面设置有至少一个第一凹槽；悬空结构，设置在所述第一凹槽之上。

可选地，所述悬空结构覆盖至少部分所述基底除去所述第一凹槽的部分。

可选地，所述悬空结构包括悬臂结构或者桥式结构，在气体流向的方向上，气体通过所述第一凹槽未被所述悬空结构覆盖的第一部分，进入所述第一凹槽，从所述第一凹槽未被所述悬空结构覆盖的第二部分穿出。

可选地，所述流量传感器、湿度传感器、气体浓度传感器以及加速度传感器中的一个或多个，设置在所述悬空结构之上。

可选地，所述基底的背面设置有至少一个第二凹槽，所述流量传感器、所述压力传感器、所述湿度传感器、以及所述气体浓度传感器中的一个或多个，分别位于所述第二凹槽之上。

可选地，所述流量传感器包括至少一个加热单元以及至少一对第二温度传感器和第三温度传感器，每对所述第二温度传感器和所述第三温度传感器关于一所述加热单元对称设置。

可选地，所述加热单元与加热装置电连接。

可选地，还包括信号处理单元，分别与所述第二温度传感器以及所述第三温度传感器电连接，计算出气体流量。

可选地，所述信号处理单元与至少一个所述环境参数传感器电连接，用于确定所述环境参数。

可选地，所述信号处理单元集成在所述基底上，或者单独形成在所述基底外部。

第二方面，本实用新型实施例提供了一种智能气体流量仪表，包括第一方面任意所述MEMS气体流量检测芯片。