[实用新型]一种用于导流筒提升杆环形槽的氧化物清理装置

说明书

本实用新型公开了一种用于导流筒提升杆环形槽的氧化物清理装置，其包括两个相互铰接的半圆柱形筒体，当两个所述筒体绕铰接点旋转时可以完全扣合在一起形成圆柱形，所述筒体从下至上依次包括同心设置下半圆筒体和上半圆筒体，本实用新型的有益效果：本实用新型结构简单，设计相互铰接的两个半圆柱形筒体，使用时单只手握住下半圆筒体并将手指插入到把手中控制筒体的张开和关闭，擦拭环形凹槽时，只需张开半圆形筒体然后将导流筒提升杆扣合在筒体内，握紧筒体将蘸有酒精的纤维纸部位插入环形凹槽内上下擦拭即可，不仅擦拭的干净彻底，而且擦拭方便快捷，省时省力，工作效率高。

技术领域：

本实用新型涉及单晶炉拆清技术领域，尤其涉及一种用于导流筒提升杆环形槽的氧化物清理装置。

背景技术：

单晶硅是一种良好的半导材料，其纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上，被广泛应用于制造半导体器件、太阳能电池等领域，单晶硅一般通过用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，因为单晶硅的纯度要求，对单晶炉内的洁净度要求极高，单晶炉拉制完一炉单晶后不必须做好全面到位的拆炉清理工作，才能保证下一炉单晶拉制的成功，在拆炉清理过程中，必须清理干净炉内各个热场部件的淡黄色氧化粉末(由于拉制单晶过程中单晶炉内温度高达1000 度以上，会在热场部件的表面产生一层薄薄的氧化粉末，一般通过使用纤维纸蘸取酒精对其表面擦拭除去氧化粉末)，而导流筒提升系统内的氧化物很难清理，如图4所示：球型盖8与导流筒提升杆10之间形成的环形凹槽9内产生的氧化粉末很难除去，由于操作空间的限制以及环形凹槽9的特殊形状，在现有技术中，拆清操作人员一般通过在细杆的末端缠绕吸有酒精的纤维纸进行擦拭，擦拭时，操作人员需要绕导流筒提升杆10旋转擦拭，擦拭极其困难，不仅工作效率低下，而且会出现氧化粉末擦拭不彻底的现象，影响单晶硅的正常拉制。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种用于导流筒提升杆环形槽的氧化物清理装置。

本实用新型的内容：一种用于导流筒提升杆环形槽的氧化物清理装置，其包括两个相互铰接的半圆柱形筒体，当两个所述筒体绕铰接点旋转时可以完全扣合在一起形成圆柱形，所述筒体从下至上依次包括同心设置下半圆筒体和上半圆筒体，所述下半圆筒体的外径大于所述上半圆筒体的外径，所述下半圆筒体的内径与所述上半圆筒体的内径相同，在所述上半圆筒体的外圆周面上开有若干个螺纹盲孔，在所述上半圆筒体的外圆周面上还覆盖有若干层清洁纤维纸或清洁海绵，其还包括锁紧螺钉，所述锁紧螺钉穿过所述清洁纤维纸或清洁海绵与所述螺纹盲孔螺接，在所述下半圆筒体的外圆周面上固定安装有把手。

进一步的，在所述上半圆筒体的顶端外缘设置有导向角。

本实用新型的有益效果：本实用新型结构简单，设计相互铰接的两个半圆柱形筒体，使用时单只手握住下半圆筒体并将手指插入到把手中控制筒体的张开和关闭，擦拭环形凹槽时，只需张开半圆形筒体然后将导流筒提升杆扣合在筒体内，握紧筒体将蘸有酒精的纤维纸部位插入环形凹槽内上下擦拭即可，不仅擦拭的干净彻底，而且擦拭方便快捷，省时省力，工作效率高。

附图说明：

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型筒体的立体图；

图3为本实用新型的俯视图；

图4为本实用新型需清理部位的结构示意图；

图中，筒体1、下半圆筒体1-2、上半圆筒体1-3、螺纹盲孔3、清洁纤维纸或清洁海绵4、锁紧螺钉5、把手6、导向角7、球型盖8、环形凹槽9、导流筒提升杆10。

具体实施方式：