[实用新型]一种芯片转运装置

权利要求书

1.一种芯片转运装置，其特征在于：包括移动装置以及吸头（8），吸头（8）安装在移动装置上，并随移动装置移动，吸头（8）与移动装置之间设置有缓冲机构。

2.根据权利要求1所述的芯片转运装置，其特征在于：所述的移动装置包括平移装置和升降装置，升降装置安装在平移装置上，吸头（8）通过缓冲机构安装在升降装置上。

3.根据权利要求1或2所述的芯片转运装置，其特征在于：所述的缓冲机构包括缓冲弹簧（9）以及缓冲套（7），缓冲套（7）滑动安装在移动装置上，吸头（8）安装在缓冲套（7）上，并随缓冲套（7）同步升降，缓冲弹簧（9）与缓冲套（7）相连，推动其复位。

4.根据权利要求1所述的芯片转运装置，其特征在于：还包括旋转机构，吸头（8）通过缓冲机构安装在旋转机构上，旋转机构安装在移动装置上。

5.根据权利要求4所述的芯片转运装置，其特征在于：所述的旋转机构包括旋转电机（5），旋转电机（5）安装在移动装置上，缓冲机构与旋转电机（5）的输出轴相连，并带动其同步转动。

6.根据权利要求5所述的芯片转运装置，其特征在于：所述的旋转机构还包括主轴（6），主轴（6）转动安装在移动装置上，旋转电机（5）与主轴（6）相连，并带动其同步转动，缓冲机构安装在主轴（6）上。

7.根据权利要求5所述的芯片转运装置，其特征在于：所述的旋转电机（5）通过同步带（10）与缓冲机构相连。