[实用新型]一种拉晶设备有效
| 申请号: | 202020245944.6 | 申请日: | 2020-03-03 |
| 公开(公告)号: | CN212451736U | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
| 发明(设计)人: | 王建波;周锐;李侨;邓浩;付泽华;张龙龙;徐战军;张永辉;张伟建 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 莎日娜 |
| 地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 设备 | ||
1.一种拉晶设备,其特征在于,所述拉晶设备包括:加料装置和单晶炉;
所述加料装置包括储料部和运料通道;
所述储料部用于储存硅料;
所述运料通道的一端与所述储料部相连,另一端穿过所述单晶炉的炉壁伸入所述单晶炉内,所述运料通道用于将所述硅料输送至所述单晶炉内;
所述单晶炉内设有坩埚、缓料通道和导料通道;
所述缓料通道的一端与所述导料通道相连,另一端与所述运料通道相连,且所述缓料通道分别与所述运料通道、所述导料通道呈预设夹角设置;
所述导料通道的另一端伸入所述坩埚内。
2.根据权利要求1所述的拉晶设备,其特征在于,所述单晶炉内还设有保温盖,所述保温盖设置于所述坩埚的上方;
所述保温盖开设有第一通孔,所述导料通道的一端穿过所述第一通孔与所述缓料通道连通。
3.根据权利要求2所述的拉晶设备,其特征在于,所述缓料通道设置于所述保温盖远离所述坩埚的一侧,所述导料通道穿过所述第一通孔设置在所述保温盖与所述坩埚之间。
4.根据权利要求3所述的拉晶设备,其特征在于,所述单晶炉的侧面炉壁对应所述保温盖的上方处开设有第二通孔;
所述运料通道水平设置,且所述运料通道穿过所述第二通孔与所述缓料通道连通。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的拉晶设备,其特征在于,所述缓料通道与所述导料通道为一体成型结构或可拆卸连接。
6.根据权利要求1所述的拉晶设备,其特征在于,所述单晶炉内具有位于所述坩埚上方的热屏,所述热屏的中心开设有供晶棒通过的拉晶通道,所述导料通道设置于所述热屏远离所述拉晶通道的一侧。
7.根据权利要求1所述的拉晶设备,其特征在于,所述单晶炉内还设有隔热件;
所述隔热件夹设于所述缓料通道与所述导料通道之间。
8.根据权利要求7所述的拉晶设备,其特征在于,所述隔热件为碳碳隔热件或石墨隔热件。
9.根据权利要求1所述的拉晶设备,其特征在于,所述坩埚包括内坩埚和外坩埚,所述内坩埚设置于所述外坩埚内,且所述内坩埚的埚壁与所述外坩埚的埚壁之间形成间隙;
所述导料通道的另一端与所述间隙相对。
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