[实用新型]整体铸造型光刻机物镜冷却水套有效
| 申请号： | 202020207373.7 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN212060866U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 马宏超 | 申请（专利权）人： | 苏州美迈快速制造技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 整体 铸造 光刻 物镜 冷却水 | ||
【权利要求书】：
1.一种整体铸造型光刻机物镜冷却水套，包括内套(1)、不锈钢弯管(2)以及砂模组件(3)，其特征在于：所述内套(1)套在砂模组件(3)当中，所述不锈钢弯管(2)盘在内套(1)上，且所述不锈钢弯管(2)通过电焊的方式设置在内套(1)外壁。
2.根据权利要求1所述的一种整体铸造型光刻机物镜冷却水套，特征在于：所述砂模组件(3)包括底座砂模(31)、顶盖砂模(32)、筒身砂模(33)以及砂模内膜(34)，所述筒身砂模(33)设置在底座砂模(31)上，砂模内膜(34)设置于筒身砂模(33)内，所述内套(1)套在所述砂模内膜(34)中，且所述砂模内膜(34)与内套(1)贴合处开设有发热孔(35)，所述发热孔(35)中插有发热管。
3.根据权利要求2所述的一种整体铸造型光刻机物镜冷却水套，特征在于：所述顶盖砂模(32)上开设左右浇注冒口(36)。
4.根据权利要求1所述的一种整体铸造型光刻机物镜冷却水套，特征在于：所述内套(1)上的不锈钢弯管(2)为螺旋式缠绕，且所述不锈钢弯管(2)各个方向的尺寸在1mm之内。
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